[实用新型]一种板式PECVD设备中的U型槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种板式PECVD设备中的U型槽。

背景技术

板式PECVD设备是石英管在两端通微波源，表面抽真空的条件下将氨气和硅烷分解成高能离子状态，经过一系列化学反应，在硅片表面沉积氮化硅固态薄膜，同时分解出来的氢离子，将硅片表面原有缺陷钝化的设备。U型槽隔绝PECVD设备中反应腔体中磁铁、抽真空管路、特气管路与反应沉积区域，对反应腔体中重要部件进行防护。但是为了保证反应特气的正常通入，必须在U型槽顶部两端与特气管的特气通入孔相对应的位置开大于特气通入孔的进气孔。由于氮化硅的沉积需要定期清理或更换U型槽，在清理或更换U型槽时，由于设备没有U型槽的固定装置，在再次安装U型槽时位置很容易发生偏移，甚至是U型槽顶部翘起变形，导致特气管的特气通入孔与U型槽顶部两端的进气孔发生偏移，甚至U型槽遮挡特气管的特气通入孔，造成进气量变少，严重的甚至没有进气量，进而影响特气实际参加反应的量，导致镀膜工艺的不稳定。

实用新型内容

本实用新型的目的就是解决现有技术中存在的上述问题，提供一种板式PECVD设备中的U型槽，该U型槽两端固定，防止由于U型槽顶部翘起导致的开孔的位置偏移。

为实现上述目的，本实用新型的技术解决方案是：一种板式PECVD设备中的U型槽，包括U型槽、U型槽下方的加固钢板和3组以上的紧固连接装置；在U型槽顶部的两端边缘向上弯曲形成沟槽A，在加固钢板的背面边部与U型槽顶部的沟槽A相对应的位置开有沟槽B；每组紧固连接装置是由两个一端带紧固钩、另一端有内螺纹或外螺纹的长条管和有外螺纹或内螺纹的长螺母组成，两个长条管螺纹固定在长螺母上；每组紧固连接装置的两个紧固钩分别钩挂在沟槽A和沟槽B内，由长螺母锁紧紧固。

上述所述的沟槽B开在加固钢板的背面距离边缘1.5cm的地方，其直径为0.5mm。这个位置这样的沟槽B能使紧固连接装置的钩槽钩挂可靠。

上述所述的紧固连接装置的紧固钩直径为0.8毫米。很容易钩挂，钩挂可靠，又是最合适的最小的钩，节省材料。

本实用新型的紧固连接装置通过紧固钩连接U型槽顶部的沟槽A和固定钢板的沟槽B，将U型槽固定，防止了由于U型槽顶部翘起导致的进气孔的位置偏移，避免因此造成的特气管的特气通入孔与U型槽顶部两端的进气孔发生偏移，甚至U型槽遮挡特气管的特气通入孔，造成进气量变少甚至没有进气量的现象的发生，保证了特气实际参加反应的量的稳定性，使镀膜工艺的更加稳定。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实施例包括U型槽1、U型槽下方的加固钢板6和3组（这是既牢固又数量最少的选择，如果U型槽过大，也可是根据需要的3个以上的任意个数）紧固连接装置7。在U型槽1顶部的两端边缘向上弯曲形成沟槽A2，在加固钢板6的背面边部与U型槽顶部的沟槽A2相对应的位置开有沟槽B5；优选地，沟槽B5开在加固钢板6的背面距离边缘1.5cm的地方，其直径为0.5mm。每组紧固连接装置7是由两个一端带紧固钩3、另一端有外螺纹的长条管8和有内螺纹的长螺母4组成，两个长条管8螺纹固定在长螺母4上。每组紧固连接装置7的两个紧固钩3分别钩挂在沟槽A2和沟槽B5内，由长螺母4锁紧紧固。优选地，紧固钩3直径为0.8毫米。6为U型槽上开有的特气的进气孔。

当然，本实用新型还有其它多种实施例，在不违背本实用新型精神和实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型做出相应的改变和变形，如紧固连接装置的设计和使用数量、U型槽的设计、固定钢板的设计等，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。