[实用新型]一种板式PECVD设备中的U型槽有效
| 申请号： | 201520543839.X | 申请日： | 2015-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN204918760U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 李静;殷国安;张大雨;田娜;马立元 | 申请（专利权）人： | 巨力新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 保定市燕赵恒通知识产权代理事务所 13121 | 代理人： | 王葶葶 |
| 地址： | 072550*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 板式 pecvd 设备 中的 型槽 | ||
【权利要求书】：
1.一种板式PECVD设备中的U型槽，其特征在于：包括U型槽、U型槽下方的加固钢板和3组以上的紧固连接装置；在U型槽顶部的两端边缘向上弯曲形成沟槽A，在加固钢板的背面边部与U型槽顶部的沟槽A相对应的位置开有沟槽B；每组紧固连接装置是由两个一端带紧固钩、另一端有内螺纹或外螺纹的长条管和有外螺纹或内螺纹的长螺母组成，两个长条管螺纹固定在长螺母上；每组紧固连接装置的两个紧固钩分别钩挂在沟槽A和沟槽B内，由长螺母锁紧紧固。
2.根据权利要求1所述的板式PECVD设备中的U型槽，其特征在于：所述的沟槽B开在加固钢板的背面距离边缘1.5cm的地方，其直径为0.5mm。
3.根据权利要求1或2所述的板式PECVD设备中的U型槽，其特征在于：所述的紧固连接装置的紧固钩直径为0.8毫米。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
