[实用新型]常温多层ITO柔性基材单鼓立式连续气相沉积设备系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及信息及信息应用领域，具体涉及一种常温多层ITO柔性基材单鼓立式连续气相沉积设备系统。

背景技术

ITO透明导电薄膜是一类既透明又导电的特殊功能性薄膜，具有禁带宽、可见光谱区内光的透射率高和电阻率低等共同的光学和电性能，目前广泛用于显示器、各种光电电子器件、触摸屏、防辐射、建筑的节能保温、交通工具上的防雾除霜和太阳能等众多领域。ITO透明导电薄膜的工业化生产通常采用物理气相沉积法。

ITO透明导电薄膜的工业化生产通常采用物理气相沉积法或者化学气相沉积法制备。ITO透明导电薄膜为了满足薄膜高的光学透过率和低的表面电阻的光电指标，在薄膜沉积时就必须使得所沉积的薄膜微观结构达到一定的要求，这就决定了ITO透明导电薄膜的沉积过程必须在较高的温度下进行。

目前物理气相沉积法制备ITO透明导电薄膜多在真空条件下，加温到200℃—350℃左右。使得ITO透明导电薄膜目前多只能沉积在玻璃等可以耐一定温度的基体上，而不能沉积在不耐高温的透明塑料薄膜。过多的加热不仅消耗大量的能源，增加成本，对生产设备也提出许多的苛刻的要求。同时，由于在薄膜制备时始终处于高温的状况下，也就极大的限制了ITO透明导电薄膜沉积所用基体材料的选用范围，使得很多价格合理的高透明材料不能作为ITO透明导电薄膜的基体应用，也就相应的提高了ITO透明导电薄膜产品的成本和价格，而且更加限制了ITO透明导电薄膜产品的应用范围。

而且，在薄膜制备时始终处于高温的状况下，也会促使ITO透明导电薄膜沉积所用基体材料的变形，改变了ITO透明导电薄膜沉积所用基体材料的某些物理和化学性能，降低了ITO透明导电薄膜产品的成品率。高温设备的操作也给生产安全带来问题，会留下对生产一线人员生命保护和生产设备维护的不可预知的隐患。

目前，缺乏一种生产效率高的常温多层ITO柔性基材单鼓立式连续气相沉积设备系统。

实用新型内容

为了克服上述现有技术中的不足之处，本实用新型的目的是提供一种工作稳定性好的常温多层ITO柔性基材单鼓立式连续气相沉积设备系统。

为了实现上述技术目的，本实用新型采用的技术方案的如下：本实用新型提供了一种常温多层ITO柔性基材单鼓立式连续气相沉积设备系统，所述常温多层ITO柔性基材单鼓立式连续气相沉积设备系统包括薄膜真空沉积系统和自控卷绕系统；

所述薄膜真空沉积系统包括两个分隔开的相互独立的低真空度腔体和高真空度腔体，所述低真空度腔体与高真空度腔体之间设置有隔板；

所述薄膜真空沉积系统与所述自控卷绕系统之间设置有卷绕机隔板；

所述自控卷绕系统包括卷绕机底座和自动控制机构，所述卷绕机底座上设置有多层分开的放料机构、自控张紧机构、同步卷绕机构、立式单鼓机构和收料机构；

所述放料机构、自控张紧机构、同步卷绕机构、立式单鼓机构、收料机构均与自动控制机构相连接；

所述放料机构为放料辊和放料及分开系统，所述收料机构为收料复合机构和收料辊；所述低真空度腔体和低真空度腔体内均设置有各自独立的相互分开的真空抽气系统；所述放料及分开系统、立式单鼓机构、同步卷绕机构、收料复合机构上均设置有各自独立的同步驱动系统；

所述低真空度腔体设置有可沿着水平轨道开合的第一移动门,所述高真空度腔体装设有第二移动门,所述低真空腔体内设置有可视实时监控系统。

进一步地，所述立式单鼓机构上设置有立式单鼓，所述高真空度腔体内围绕着立式单鼓周围均布了多对立式中频平面的非平衡阴极，每对非平衡阴极均设置有自隔气的整体式的封闭屏蔽罩和各自独立的供气机构。

进一步地，所述自控卷绕系统内部设置有表面处理机构。

更进一步地，所述自控卷绕系统内部设置有对分开后各层ITO柔性基材的卷绕进程有实时同步的自动纠偏机构。

进一步地，所述自控卷绕系统的立式单鼓内还设置有薄膜沉积时的鼓表面的温度控制机构。

进一步地，所述第二移动门通过铰链与高真空度腔体铰接连接。

有益效果：本实用新型结构简单，使用方便，工作稳定性好,能够在常温下制备，生产效率高。薄膜真空沉积系统和自控卷绕系统不固定连接，完全分离，极大地减少了真空腔体的开孔和结构复杂性，使得卷绕机构约束少；各个组成部分协调一致，同步运行，工作稳定性好，能够做到独立张紧系统和独立纠偏系统同步控制。实现了多层复合ITO柔性基材安装和拆卸的自动化，减少了对膜层的损伤，提高了生产效率。