[实用新型]真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201520506622.1 申请日: 2015-07-14
公开(公告)号: CN204769364U 公开(公告)日: 2015-11-18
发明(设计)人: 姚飞;钱锋;李丙科;孙丁群;宋银海 申请(专利权)人: 东莞帕萨电子装备有限公司
主分类号: B05B17/04 分类号: B05B17/04;B05B15/12
代理公司: 广东莞信律师事务所 44332 代理人: 曾秋梅
地址: 523000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜
【权利要求书】:

1.真空镀膜机,其特征在于:包括镀膜腔,所述镀膜腔被隔板分成第一喷雾仓和第二喷雾仓,所述隔板上设置有可供样品通过的固定孔,所述样品具有若干个内部通道,且至少一个所述内部通道与所述样品的表面相通,所述第一喷雾仓连接有第一雾化杯和第一负压抽气管,所述第一负压抽气管连接有真空泵,所述第一雾化杯通过第一连接管与容置有镀膜液的容器连接;

所述第二喷雾仓连接有第二雾化杯和第二负压抽气管,所述第二负压抽气管连接有真空泵,所述第二雾化杯通过第二连接管与容置有镀膜液的容器连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述隔板包括上隔板和下隔板,所述上隔板的顶部与所述镀膜腔的顶板连接,所述下隔板的底部与所述镀膜腔的底板连接,所述上隔板的下部开设有第一槽体,所述下隔板的上部开设有第二槽体,所述第一槽体和所述第二槽体共同形成所述固定孔。

3.根据权利要求1或2所述的真空镀膜机,其特征在于:所述固定孔的孔壁设置有密封圈。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述第一喷雾仓的一侧设置有第一抽气孔,所述第一负压抽气管插入所述第一抽气孔内,并且所述第一负压抽气管和所述第一抽气孔的连接处设置有密封圈;

所述第一喷雾仓的另一侧设置第一喷雾口,所述第一喷雾口与所述第一雾化杯通过第一管道连接,所述第一管道和所述第一喷雾口的连接处设置有密封圈。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜机,其特征在于:所述第一负压抽气管上设置有第一电磁阀,所述第一连接管上设置有第二电磁阀。

6.根据权利要求5所述的真空镀膜机,其特征在于:所述第二喷雾仓的一侧设置有第二抽气孔,所述第二负压抽气管插入所述第二抽气孔内,并且所述第二负压抽气管和所述第二抽气孔之间设置有密封圈;

所述第二喷雾仓的另一侧设置第二喷雾口,所述第二喷雾口与所述第二雾化杯通过第二管道连接,所述第二管道和所述第二喷雾口的连接处设置有密封圈。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜机,其特征在于:所述第二负压抽气管上设置有第三电磁阀,所述第二连接管上设置有第四电磁阀。

8.根据权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:所述隔板位于所述镀膜腔的中部。

9.根据权利要求7所述的真空镀膜机,其特征在于,当所述真空镀膜机处于镀膜工作状态时:当所述第一电磁阀打开时,所述第四电磁阀打开,所述第二电磁阀和所述第三电磁阀关闭,所述镀膜液在所述第一雾化杯内雾化后,通过所述第一喷雾口,进入所述第一喷雾仓,再通过所述样品的内部通道,进入所述第二喷雾仓,从所述第二连接管抽出;当所述第二电磁阀打开时,所述第三电磁阀打开,所述第一电磁阀和所述第四电磁阀关闭,所述镀膜液在所述第二雾化杯内雾化后,通过所述第二喷雾口,进入所述第二喷雾仓,再通过所述样品的内部通道,进入所述第一喷雾仓,从所述第一连接管抽出。

10.根据权利要求7所述的真空镀膜机,其特征在于:当所述真空镀膜机停止镀膜工作时,所述第一电磁阀、所述第二电磁阀、所述第三电磁阀和所述第四电磁阀均关闭。

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