[实用新型]玻璃基板用存储装置有效
申请号: | 201520504135.1 | 申请日: | 2015-07-13 |
公开(公告)号: | CN204905226U | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 周学文;李伟;颜春李;徐根;张诚;李翼;宋小光 | 申请(专利权)人: | 湖南普照信息材料有限公司;湖南电子信息产业集团有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 长沙智嵘专利代理事务所 43211 | 代理人: | 黄子平 |
地址: | 410205 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 基板用 存储 装置 | ||
1.一种玻璃基板用存储装置,其特征在于,
包括可移动的储存箱(1),所述储存箱(1)内设有顶部开口的、用于存储玻璃基板的储存腔(101),所述储存箱(1)上设有与所述储存腔(101)连通以将所述储存腔(101)内盛装的用于清洗所述玻璃基板的清洗液向外排出的排液口(102);
所述储存腔(101)内设有至少一组用于卡持所述玻璃基板的卡持件,每组所述卡持件包括两块相对设置的卡板(2),两块所述卡板(2)的相对的面上各设有多条供所述玻璃基板的相对的两条侧边分别插入以固定的第一卡槽(201)。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
相对设置的两块所述卡板(2)上的多条所述第一卡槽(201)一一对应设置,且每块所述卡板(2)上的多条所述第一卡槽(201)依次间距布置、且沿储存腔(101)的深度方向延伸。
3.根据权利要求2所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
每块所述卡板(2)上所述第一卡槽(201)所在的面上设有外凸的、用于支承所述玻璃基板的支撑条(3),所述支撑条(3)位于所述第一卡槽(201)上沿长度方向的底端。
4.根据权利要求2所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
所述储存腔(101)呈方型,多组所述卡持件沿所述储存腔(101)的长度方向依次间距布置,且每组所述卡持件的每块所述卡板(2)沿所述储存腔(101)的深度方向上下滑动设置于所述储存腔(101)的长度方向的两块侧壁之间。
5.根据权利要求4所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
所述储存腔(101)的长度方向的两块侧壁上各对应设有多根卡条(4),所述多根卡条(4)沿所述储存腔(101)的深度方向延伸,每根所述卡条(4)上设有沿所述卡条(4)的长度方向延伸的、供所述卡板(2)的侧边插入的第二卡槽(401)。
6.根据权利要求5所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
所述卡条(4)为槽钢,所述槽钢与所述储存腔(101)的长度方向的侧壁焊接固定,且所述储存腔(101)的长度方向的一块侧壁上的所述槽钢的槽口朝向所述储存腔(101)的长度方向的另一块侧壁。
7.根据权利要求5所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
所述储存箱(1)为由一块底板(105)、两块相对设置的面板(106)、以及两块相对设置的侧板(107)围设而成的且呈方型的箱体;
所述卡条(4)设置于所述面板(106)的内侧壁面上;
所述排液口(102)设置于所述底板(105)上。
8.根据权利要求7所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
所述底板(105)上设有排液管(5),所述排液管(5)与所述排液口(102)连通,所述排液管(5)上设有手动的用于控制所述排液管(5)导通或隔断的排液阀(6)。
9.根据权利要求7所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
所述底板(105)的四个转角处各设有一组万向轮组件(7)。
10.根据权利要求7所述的玻璃基板用存储装置,其特征在于,
两块所述侧板(107)上各设有一个供人手握持的把手(8),两个所述把手(8)相互对应。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造