[实用新型]一种光衰炉的控温系统有效
申请号: | 201520496319.8 | 申请日: | 2015-07-10 |
公开(公告)号: | CN204857673U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 唐岳泉;苏金财;洗志军 | 申请(专利权)人: | 东莞市科隆威自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18;F27D19/00 |
代理公司: | 广东莞信律师事务所 44332 | 代理人: | 曾秋梅 |
地址: | 523000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 光衰炉 系统 | ||
1.一种光衰炉的控温系统,其特征在于:所述光衰炉包括上炉胆、下炉胆、光源箱、传送装置和加热装置,所述传送装置设置于由所述上炉胆和所述下炉胆形成的容置空间内,所述加热装置与所述容置空间连接,所述光源箱设置于所述上炉胆的上方;
所述控温系统包括设置于所述下炉胆的侧壁上的若干个压缩空气进入管,若干个所述压缩空气进入管的开口朝向均与所述传送装置的运动方向相反,并且若干个所述压缩空气进入管均位于所述加热装置的上方。
2.根据权利要求1所述的光衰炉的控温系统,其特征在于:所述压缩空气进入管包括插接段和吹风段,所述插接段的一端与所述下炉胆的侧壁连接并与压缩空气相通,所述插接段的另一端与所述吹风段连接,所述吹风段的开口与所述传送装置的运动方向相反。
3.根据权利要求2所述的光衰炉的控温系统,其特征在于:所述吹风段的长度方向与所述下炉胆的侧壁平行。
4.根据权利要求1所述的光衰炉的控温系统,其特征在于:所述压缩空气进入管在所述下炉胆的侧壁的长度方向上均匀分布。
5.根据权利要求1所述的光衰炉的控温系统,其特征在于:所述控温系统还包括设置于所述光源箱内的冷凝器和离心风机,所述离心风机与所述光源箱的上部相连,所述冷凝器的一端与所述光源箱的内部相通,所述冷凝器的另一端与所述离心风机相通。
6.根据权利要求1所述的光衰炉的控温系统,其特征在于:所述加热装置包括发热板、热风马达和加热炉体,所述加热炉体置于所述下炉胆内,所述发热板设置于所述加热炉体上,所述热风马达的一端嵌入所述加热炉体内;
所述控温系统还包括设置于所述热风马达上的鲜风补入口和与所述加热炉体内连接的热排口。
7.根据权利要求6所述的光衰炉的控温系统,其特征在于:所述加热炉体包括内壳层和表壳层,所述内壳层和所述表壳层均设置为不锈钢构件,所述发热板设置于所述内壳层上;
所述控温系统还包括形成于所述内壳层和所述表壳层之间的空气流道和设置于所述发热板的两端的进风口,并且所述进风口与所述空气流道连通。
8.根据权利要求7所述的光衰炉的控温系统,其特征在于:所述内壳层包括底板和侧壁,所述底板上设置有可供所述热风马达穿出的通孔,所述侧壁包括倾斜段和竖直段,所述竖直段的一端通过所述倾斜段与所述底板连接,所述竖直段的另一端与所述发热板连接。
9.根据权利要求6所述的光衰炉的控温系统,其特征在于:所述下炉胆和所述加热炉体之间设置有保温棉层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造