[实用新型]硅晶圆切割废滤饼的干燥装置

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种处理硅晶圆切割废滤饼的回收装置，特别是有关于一种利用微波干燥方式处理废滤饼，使废滤饼中的残留切削油得以分离回收，以能缩减废弃回收成本，亦能减低环保问题的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置。

背景技术

在制造半导体芯片及太阳能板的产业中，将硅晶棒切割成厚薄均一的硅晶圆（片）已属于标准流程的一环，其通常使用特殊的金属线锯（WireSaw）为切割刀具，并采用高硬度的碳化硅（SiC）为研磨料，再辅以混有聚乙二醇（PEG）、二乙二醇（DEG）、丙二醇（PG）及界面活性剂等矿物油酯为切削、冷却液，借此，当金属线锯高速往复运行时，就可配合碳化硅为介质来提高线锯的切削能力，以对硅芯片形成良好的切割作用，且切割同时，将以聚乙二醇为主成份的切削液对着切割部位喷出，一方面除了作为冷却及润滑用途之外，另一方面尚可将切割时所产生的硅粉及杂质带出切割槽道，使晶圆切割制程能顺利且平稳的进行，以利进行后续制程。

而在硅晶圆被切割、研磨的过程中，对切割区所喷出且使用过后的切削液，会挟带着切削时所产生的硅粉碎屑、杂质与被磨耗的碳化硅，不断地被排出切割区外，进而成为粒子浓度与浊度极高的浆状废油泥。以往，国内多数的硅晶圆切割厂商对于这些废油泥，只能以废弃物方式来处理，或是以重油进行焚化后掩埋，但是，仍需要支出高昂的费用请废弃物业者处理，且废油泥如果以焚化方式处理，也会产生大量的二氧化碳，相当不环保。此外，焚烧后也将对焚化炉的炉壁造成严重破坏，因此，对于硅晶圆切割研磨后所产生的废弃物(油泥)，以直接焚化或掩埋均非理想的处理方法。

为此，本案申请人先前所申请且核准的中国台湾公告第M403370、M417180以及M432461号等专利案，即已揭露了利用压滤机及薄膜过滤等设备，来将前述废油泥中的切削油予以分离，以获得能回收再利用的回收油(切削油)，前述各专利案实际运用在相关领域中，确实能达成减废再利用的优点，且深获业界好评，但是，申请人在使用过程中发现，前述的废油泥不论经过压滤机的压滤处理，或是UF膜的精滤处理，其生成的废滤饼中，还是会残留有约20%～30%的切削油与少量水液，使得废滤饼的重量无法再予降低，致使业者对于废弃物的处理成本仍占相当大的比例支出，且更重要的是，废滤饼中仍有用的废切削油，目前还是只能随的掩埋或热处理，殊为可惜。

因此，如何再次分离废滤饼中的残留液态切削油及固态的碳化硅、硅粉，从而达成再次固液分离回收，已有效减少资源耗竭、环境污染，达到废弃物资源回收再利用，已成为目前相关业者所急待改善的目标。

实用新型内容

本实用新型的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，利用微波干燥方式处理废滤饼，使其中所含的残余醇油得以被加热气化后吸出，并冷凝为可回收再利用的再生油，以能减少废弃物后续的处理成本，真正达成环保减废的目的。

因此，本实用新型的解决方案是：

一种硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，包含有：

一机体，具有一干燥腔室，供油泥状的废滤饼置入于该干燥腔室内；

一微波单元，设置在该机体上，并具有多个对应该干燥腔室的微波发热器，借由前述微波发热器所释出微波能量，以对废滤饼进行微波振荡加热处理；

一抽真空单元，与该干燥腔室连接，并可产生一负压吸力以抽取该干燥腔室内的油气；

一冷凝单元，与该抽真空单元链接，使该抽真空单元自该干燥腔室所抽引出的油气分子，在经过该冷凝单元的冷凝处理后成为液态回收油；

一控制单元，具有一电机机构，用以控制前述各单元的运作；

在该微波单元动作下，使得废滤饼内含的水分子产生振荡加热，而转相为气态油气，且借着该抽真空单元将该干燥腔室内的油气抽送至该冷凝单元，进而冷凝成可供回收再利用的回收切削油。

进一步，该机体更具有一外壳座及一安置在该外壳座内部的真空炉，该真空炉内部形成该干燥腔室。

进一步，该真空炉更具有多个开设于一炉壁上的进料口、多个对应于各该进料口的活动拉门，以及置于该干燥腔室内的一料台及多个供承置废滤饼的料盘。

进一步，该冷凝单元包含一冷凝器及一储水桶，该冷凝器连接于该干燥腔室，该储水桶连接至该抽真空单元。

进一步，更包含一冷却单元，与该微波单元连接，用以对各该微波发热器进行水冷却处理。

进一步，更包含一热媒油热交换单元，与该微波单元连接，用以对各该微波发热器进行油冷却处理。

进一步，更包含有数个与该控制单元电连接的温度传感器，该等温度传感器安置在该真空炉的一炉壁上。