[实用新型]硅晶圆切割废滤饼的干燥装置有效
| 申请号： | 201520491838.5 | 申请日： | 2015-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN204923709U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 陈皇志;林晖智;黄丈耘;郭胜惟 | 申请（专利权）人： | 亚邦国际科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B9/06 | 分类号： | F26B9/06;F26B7/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人： | 朱凌 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅晶圆 切割 滤饼 干燥 装置 | ||
1.一种硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于，包含有：
一机体，具有一干燥腔室，油泥状的废滤饼置入于该干燥腔室内；
一微波单元，设置在该机体上，并具有多个对应该干燥腔室的微波发热器，前述微波发热器释出微波能量对废滤饼进行微波振荡加热处理；
一抽真空单元，与该干燥腔室连接，并产生一负压吸力以抽取该干燥腔室内的油气；
一冷凝单元，与该抽真空单元链接，该抽真空单元自该干燥腔室所抽引出的油气分子，在经过该冷凝单元的冷凝处理后成为液态回收油；
一用以控制前述微波单元、抽真空单元及冷凝单元运作的控制单元，具有一电机机构。
2.如权利要求1所述的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于：该机体更具有一外壳座及一安置在该外壳座内部的真空炉，该真空炉内部形成该干燥腔室。
3.如权利要求2所述的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于：该真空炉更具有多个开设于一炉壁上的进料口、多个对应于各该进料口的活动拉门，以及置于该干燥腔室内的一料台及多个供承置废滤饼的料盘。
4.如权利要求1所述的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于：该冷凝单元包含一冷凝器及一储水桶，该冷凝器连接于该干燥腔室，该储水桶连接至该抽真空单元。
5.如权利要求1所述的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于：更包含一用以对各微波发热器进行水冷却处理的冷却单元，与该微波单元连接。
6.如权利要求1所述的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于：更包含一用以对各微波发热器进行油冷却处理的热媒油热交换单元，与该微波单元连接。
7.如权利要求1所述的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于：更包含有数个与该控制单元电连接的温度传感器，该温度传感器安置在该真空炉的一炉壁上。
8.如权利要求2所述的硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于：更包含有一进出气调节装置，该进出气调节装置安置在该真空炉的一炉壁上，进行抽真空处理时该进出气调节装置适时开启或关闭，调节该干燥腔室的压力。
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