[实用新型]槽式石墨舟垫腿及石墨舟有效
申请号: | 201520486775.4 | 申请日: | 2015-07-08 |
公开(公告)号: | CN204792729U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 侯新倾;乔拓 | 申请(专利权)人: | 衡水英利新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 苏英杰 |
地址: | 053000 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石墨 舟垫腿 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片生产技术领域。
背景技术
在多晶硅太阳能电池的生产中,需要使用等离子体增强化学气相沉积法(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition,简称PECVD)进行钝化工序,该工序使用的石墨舟是由石墨舟外片、石墨舟下片、石墨舟中片、陶瓷杆、石墨杆、石墨块和石墨螺母等部件组成的,如申请号为201120412558.2的实用新型专利就公开了一种类似的石墨舟。
现有技术中,石墨舟垫腿的承接肩为平面,因此石墨舟下片连接端的下缘与石墨舟垫腿的承接肩是紧密贴合的。同时,生产中不可避免地存在误差,因此石墨舟垫腿与石墨舟下片连接时可能造成石墨舟下片连接端的下缘与石墨舟垫腿的承接肩过度挤压,从而导致石墨舟下片的连接端发生断裂,一旦其发生断裂,则其他石墨舟下片也会因受力不均而陆续断裂,从而极大地影响石墨舟的质量,降低石墨舟的良品率,带来不必要的浪费。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足,提供一种槽式石墨舟垫腿及石墨舟,该石墨舟垫腿在承接肩上开有间槽,能够在石墨舟下片的连接端与石墨舟垫腿的承接肩之间形成空隙,避免石墨舟下片连接端与承接肩的挤压;使用该石墨舟垫腿的石墨舟具有更加稳定的结构,良品率高,非常实用。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:一种槽式石墨舟垫腿,其包括连接头、承接肩和垫脚,连接头上设有两个通孔,承接肩上开设有贯穿承接肩的间槽,连接头与石墨舟下片连接时间槽位于石墨舟下片连接端的正下方。
作为优选,间槽的宽度为2.6mm±0.1mm,间槽的深度为2.5mm±0.5mm。
一种石墨舟,其包括石墨舟垫腿,该石墨舟垫腿为如上所述的槽式石墨舟垫腿。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:本实用新型石墨舟垫腿在承接肩上开有间槽,能够在石墨舟下片的连接端与石墨舟垫腿的承接肩之间形成空隙,从而避免石墨舟下片连接端与承接肩的挤压,防止石墨舟下片连接端的断裂;使用该石墨舟垫腿的石墨舟具有更加稳定的结构,其受力更加均匀,良品率高,非常实用。
附图说明
图1是本实用新型石墨舟的结构示意图;
图2是本实用新型槽式石墨舟垫腿的结构示意图;
图3是图1中石墨舟下片的结构示意图。
图中:1、连接头;11、通孔;2、承接肩;21、间槽;3、垫脚;4、石墨舟下片;41、连接端;5、槽式石墨舟垫腿。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
如图2所示,一种槽式石墨舟垫腿,其包括连接头1、承接肩2和垫脚3,连接头1上设有两个通孔11,承接肩2上开设有贯穿承接肩2的间槽21,连接头1与石墨舟下片4连接时间槽21位于石墨舟下片4连接端41的正下方,从而在连接端41与承接肩2之间造成空隙,间槽21的宽度只要能容纳石墨舟下片4的连接端41即可,但也不宜太宽,因为承接肩2还要与石墨块紧密贴合,作为优选,间槽21的宽度为2.6mm±0.1mm,间槽21的深度为2.5mm±0.5mm。
如图1所示,一种石墨舟,其包括如图2所示的槽式石墨舟垫腿,该石墨舟的其他部分与现有技术类同。该石墨舟中,由于间槽21的存在,连接端41与承接肩2之间具有空隙,从而避免了连接端41与承接肩2的挤压,进而防止连接端41的断裂。此外,原有技术中,立于承接肩2上的两个石墨舟下片4不仅与承接肩2具有挤压,而且还有可能承担一部分贯穿石墨舟下片和石墨舟垫腿的陶瓷杆的压力,这样,一旦这两个石墨舟下片4的连接端41发生断裂,必然引起陶瓷杆的震动,且这两个石墨舟下片4的重力也将转嫁到其他石墨舟下片4上,增大其他石墨舟下片4的连接端41的受力,从而极易引发其他石墨舟下片4的连接端41的相继断裂;而在该石墨舟中,贯穿石墨舟下片和石墨舟垫腿的陶瓷杆完全由石墨舟垫腿支持,所有石墨舟下片4则均由陶瓷杆支持,整个石墨舟的受力更加均匀,结构也更加稳定。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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