[实用新型]槽式石墨舟垫腿及石墨舟有效
| 申请号： | 201520486775.4 | 申请日： | 2015-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN204792729U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 侯新倾;乔拓 | 申请（专利权）人： | 衡水英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 苏英杰 |
| 地址： | 053000 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨 舟垫腿 | ||
【权利要求书】：
1.一种槽式石墨舟垫腿，其包括连接头（1）、承接肩（2）和垫脚（3），连接头（1）上设有两个通孔（11），其特征在于：承接肩（2）上开设有贯穿承接肩（2）的间槽（21），连接头（1）与石墨舟下片（4）连接时间槽（21）位于石墨舟下片（4）的连接端（41）的正下方。
2.根据权利要求１所述的槽式石墨舟垫腿，其特征在于所述间槽（21）的宽度为2.6mm±0.1mm，间槽（21）的深度为2.5mm±0.5mm。
3.一种石墨舟，其包括石墨舟垫腿（5），其特征在于：所述石墨舟垫腿（5）为如权利要求1或2所述的槽式石墨舟垫腿。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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