[实用新型]一种硅片夹持机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能生产设备领域，具体涉及一种硅片夹持机构。

背景技术

半个世纪以来，半导体产业发展迅猛，这主要有赖于两个因素：一个是加工尺寸不断变细，提高集成度，降低器件单位成本；另一个是硅衬底尺寸不断变大，增加硅片单位面积可获得芯片的数量。而且两个因素互相影响，互相促进发展。加工尺寸不断变细，带动衬底材料质量不断得到改善，衬底材料的不断改善反过来又不断促进了加工尺寸变细的实现。生产实践表明，磨削过程中，硅片的夹持可靠性和定位精度对硅片加工面型精度和表面质量以及加工效率有重要影响。因此，研究和设计硅片夹持系统，对我国开发和研究具有自主知识产权的高精度、高质量和高效率的大尺寸硅片超精密加工装备，具有重要的理论意义和实用价值。

中国专利CN201210004898.0公开了一种平衡硅片夹持机构，包括：旋转轴及可在所述旋转轴带动下旋转的卡盘，所述卡盘包括三个夹持臂，其中两个所述夹持臂的端部为固定夹持元件，另一个所述夹持臂的端部为可调夹持件；所述可调夹持件可相对与所述卡盘的连接点摆动，用于夹持硅片，其顶端设置有用于与所述硅片表面接触的夹持元件，其底端设置有重量可调的平衡机构。但是该夹持机构夹持不稳定，容易造成硅片掉落，损坏硅片。

因此急需一种夹持稳定、夹持效果好、不损坏硅片的硅片夹持机构。

实用新型内容

本实用新型针对上述问题，提供一种夹持稳定、夹持效果好、不损坏硅片的硅片夹持机构。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案是：

一种硅片夹持机构，包括旋转盘、设置在旋转盘上的若干个伸缩臂和固定在伸缩臂上的夹头，其中，所述夹头用于夹持硅片，所述夹头包括钳口，所述钳口具有一对夹持面，所述夹持面具有依次相连接的支撑棱、阻挡销和夹持块。

进一步的，所述夹持块包括依次相连接的凸起、凹弧、凹面和斜面，所述凹弧的前端与凸起的末端相连接，所述凹弧的后端与凹面的前端相连接，所述凹面的后端与斜面的前端相连接。

更进一步的，所述斜面与阻挡销之间设有一过渡面，所述过渡面的横截面呈样条曲线。

进一步的，所述支撑棱的横截面呈矩形。

进一步的，所述伸缩臂为三个，所述三个伸缩臂之间的夹角互为120°。

更进一步的，所述伸缩臂的上表面和下表面均具有凹槽。

进一步的，所述夹头通过弹性连接块固定在伸缩臂的前端，所述弹性连接块上具有若干个凹槽。

更进一步的，所述伸缩臂后端固定在旋转盘的外周上。

更进一步的，所述凹弧和凸起之间设有一过渡弧。

本实用新型的优点是：

1.本实用新型结构简单，夹持稳定可靠，夹持效果好、不损坏硅片，支撑棱和阻挡销使得夹持更稳定可靠；

2.本实用新型，质量好、精度高、使用寿命长；

3.本实用新型中弹性连接块、凸起、凹弧、凹面和斜面的设置，可避免加速度的突变，减小夹持时对硅片的冲击。

除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本实用新型还有其它的目的、特征和优点。下面将参照图，对本实用新型作进一步详细的说明。

附图说明

构成本说明书的一部分、用于进一步理解本实用新型的附图示出了本实用新型的优选实施例，并与说明书一起用来说明本实用新型的原理。在附图中：

图1是本实用新型的附视图；

图2是本实用新型的局部结构示意图；

图3是本实用新型的钳口的局部结构示意图；以及

图4是本实用新型的夹持块的局部结构示意图。

其中，图中标记为：

1为硅片、2为旋转盘、3为伸缩臂、4为夹头、5为钳口、51为支撑棱、52为阻挡销、53为夹持块、531为凸起、532为凹弧、533为凹面、534为斜面、6为弹性连接块。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

参考图1至图4，如图1、图2和图3所示的一种硅片夹持机构，包括旋转盘2、设置在旋转盘2上的若干个伸缩臂3和固定在伸缩臂3上的夹头4，其中，所述夹头4用于夹持硅片1，所述夹头4包括钳口5，所述钳口5具有一对夹持面，所述夹持面具有依次相连接的支撑棱51、阻挡销52和夹持块53，通过支撑棱51和阻挡销52使得夹持更稳定可靠。