[实用新型]一种硅片夹持机构

权利要求书

1.一种硅片夹持机构，包括旋转盘(2)、设置在旋转盘(2)上的若干个伸缩臂(3)和固定在伸缩臂(3)上的夹头(4)，其特征在于，所述夹头(4)用于夹持硅片(1)，所述夹头(4)包括钳口(5)，所述钳口(5)具有一对夹持面，所述夹持面具有依次相连接的支撑棱(51)、阻挡销(52)和夹持块(53)。

2.根据权利要求1所述的硅片夹持机构，其特征在于，所述夹持块(53)包括依次相连接的凸起(531)、凹弧(532)、凹面(533)和斜面(534)，所述凹弧(532)的前端与凸起(531)的末端相连接，所述凹弧(532)的后端与凹面(533)的前端相连接，所述凹面(533)的后端与斜面(534)的前端相连接。

3.根据权利要求2所述的硅片夹持机构，其特征在于，所述斜面(534)与阻挡销(52)之间设有一过渡面，所述过渡面的横截面呈样条曲线。

4.根据权利要求1所述的硅片夹持机构，其特征在于，所述支撑棱(51)的横截面呈矩形。

5.根据权利要求1所述的硅片夹持机构，其特征在于，所述伸缩臂(3)为三个，所述三个伸缩臂(3)之间的夹角互为120°。

6.根据权利要求5所述的硅片夹持机构，其特征在于，所述伸缩臂(3)的上表面和下表面均具有凹槽。

7.根据权利要求1所述的硅片夹持机构，其特征在于，所述夹头(4)通过弹性连接块(6)固定在伸缩臂(3)的前端，所述弹性连接块(6)上具有若干个凹槽。

8.根据权利要求7所述的硅片夹持机构，其特征在于，所述伸缩臂(3)后端固定在旋转盘(2)的外周上。

9.根据权利要求2所述的硅片夹持机构，其特征在于，所述凹弧(532)和凸起(531)之间设有一过渡弧。