[实用新型]一种纳米结构PVD涂层金属切割锯片有效
| 申请号： | 201520480515.6 | 申请日： | 2015-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN204874715U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 陈君;范玉山;乐务时 | 申请（专利权）人： | 苏州涂冠镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 结构 pvd 涂层 金属 切割 | ||
【权利要求书】：
1.一种纳米结构PVD涂层金属切割锯片，包括呈圆形的锯片本体，其特征在于，所述本体外侧设有呈环形的切割部，所述的切割部上通过PVD真空镀膜依次形成结合层、调制层和功能层，所述的调制层和功能层交替循环5～20个周期。
2.根据权利要求1所述的纳米结构PVD涂层金属切割锯片，其特征在于，所述的结合层采用Cr或Ti或其合金作为靶源沉积而成。
3.根据权利要求1或2所述的纳米结构PVD涂层金属切割锯片，其特征在于，所述的调制层采用Zr、Cr、Ti或Al，或Zr、Cr、Ti和Al中的两种或两种以上合金作为靶源沉积而成。
4.根据权利要求1或2所述的纳米结构PVD涂层金属切割锯片，其特征在于，所述的功能层采用Zr、Cr、Ti或Al，或Zr、Cr、Ti和Al中的两种或两种以上合金作为靶源沉积而成。
5.根据权利要求2所述的纳米结构PVD涂层金属切割锯片，其特征在于，所述的结合层厚度为0.1-1um。
6.根据权利要求3所述的纳米结构PVD涂层金属切割锯片，其特征在于，所述的调制层厚度为50-100nm。
7.根据权利要求4所述的纳米结构PVD涂层金属切割锯片，其特征在于，所述的功能层厚度为100-500nm。
8.根据权利要求1或2所述的纳米结构PVD涂层金属切割锯片，其特征在于，所述的调制层与功能层循环周期为10次。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州涂冠镀膜科技有限公司，未经苏州涂冠镀膜科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520480515.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种磁控溅射大型镀膜真空腔
- 下一篇：气垫纠偏氢气退火炉
- 同类专利
- 专利分类
