[实用新型]镀膜热蒸发真空系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种制备有机薄膜和电极的镀膜热蒸发真空系统，属于固态薄膜制备领域。

背景技术

基于量子点的LED器件的制备需要多种工艺，包括使用匀胶机甩膜制备聚合物薄膜和量子点薄膜、使用真空热蒸发制备有机薄膜和电极等。器件的表征和测试也会用到多种方法，比如用kethley测量基于量子点LED的电流特性、用荧光光谱仪测量器件的吸收谱和发射谱以及电致发光谱、用台阶仪标定各膜层的厚度等等。其中，ITO玻璃的刻蚀过程以及注意事项，经过这些步骤处理的玻璃基片已经比较清洁，但是对于器件制备的需求来讲，还是远远不够的。在每次器件制备之前，都需要对器件进行一次系统的清洗。如果不能够执行严格的操作步骤，导致生产出的器件性能影响非常显著。目前很多操作需要人工来完成，操作的精确度和产品的次品率较高，不能够实现充分的量产。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，解决好现有技术的问题，弥补现有目前市场上现有产品的不足。

本实用新型提供了一种镀膜热蒸发真空系统，主要包括真空室、分子泵和机械泵，所述真空室分别通过管道与分子泵和机械泵连接，分子泵通过管道和机械泵连接，真空室和分子泵之间的连接管道中间设置有闸板阀，分子泵和机械泵之间的连接管道中间设置有挡板阀，真空室和机械泵之间的连接管道中间设置有旁抽阀。

优选的，上述真空室的一端设置有电离。

优选的，上述机械泵和真空室以及分子泵的两部分连接管道互相交汇。

优选的，在管道的交汇点和机械泵之间设置有热偶。

优选的，上述挡板阀设置在管道的交汇点和分子泵之间。

本实用新型提供的镀膜热蒸发真空系统通过巧妙的设计，提供了一种非常高效安全的操作系统，能够极大地提高生产器件的工作效率，并且大大降低产品的次品率，操作简单方便。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

附图标记：1-真空室；2-分子泵；3-机械泵；4-闸板阀；5-挡板阀；6-旁抽阀；7-电离；8-热偶。

具体实施方式

为了便于本领域普通技术人员理解和实施本实用新型，下面结合附图及具体实施方式对本实用新型作进一步的详细描述。

如图1所示，本实用新型提供的镀膜热蒸发真空系统，主要包括真空室1、分子泵2和机械泵3，真空室1分别通过管道与分子泵2和机械泵3连接，分子泵2通过管道和机械泵3连接，真空室1和分子泵2之间的连接管道中间设置有闸板阀4，分子泵2和机械泵3之间的连接管道中间设置有挡板阀5，真空室1和机械泵3之间的连接管道中间设置有旁抽阀6。

真空室1的一端设置有电离7。机械泵3和真空室1以及分子泵2的两部分连接管道互相交汇，形成三叉口管道交汇点。在管道的交汇点和机械泵3之间设置有热偶8。挡板阀5设置在管道的交汇点和分子泵2之间。

分子泵2必须在前后两端都低于10Pa才能启动，否则容易损坏。熟悉真空操作的原理，对于熟练掌握操作流程，避免操作失误非常重要。

本实用新型的操作方法是：

1、打开总控电源，打开机械泵3。

2、旋开真空蒸镀室前门旋钮，这样做的目的是防止室内压力下降后无法打开真空室1门。

3、打开氮气瓶的通气阀，按下放气阀，向真空室1中冲入氮气。真空蒸镀室内部气压逐渐升高，等待前门弹开后，关闭放气阀，并且关闭氮气瓶的通气阀。

4、打开真空蒸镀室前门，将玻璃基板放置在样品架上，将镀膜材料(有机物或者金属材料)放在蒸发源内。

5、关闭真空室1门，用手紧紧压平蒸镀室的前门，踩下脚踏式的旁抽阀，对真空室1进行初步抽真空，大气压将真空室1紧紧关闭压紧。

6、初步对真空室1抽真空之后，打开总控电源面板上的旁抽阀6(该旁抽阀6与脚踏式的旁抽阀6为同一个阀门)。注意：此时必须保证挡板阀5和闸板阀4处于关闭状态。这一步是预抽真空阶段，将真空室1的气压抽到比较低的真空度。

7、打开热偶压力计，热偶压力计指示此时真空室1的内压力，当真空室1内压力低于10Pa后，关闭旁抽阀6。

8、打开挡板阀5，然后打开闸板阀4，最后启动分子泵2控制器运行，分子泵2控制面板显示“转速追踪过程中”，当面板上“当前频率”显示为450Hz时，说明分子泵2完成了加速过程，这时打开电离压力计，继续抽真空，直至真空度达到所需的要求，一般为8×10-4Pa以下。

9、热蒸发制备有机物或者金属薄膜。