[实用新型]镀膜热蒸发真空系统有效
| 申请号： | 201520410339.9 | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN204803394U | 公开（公告）日： | 2015-11-25 |
| 发明（设计）人： | 陈巧珍 | 申请（专利权）人： | 陈巧珍 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350211 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 蒸发 真空 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜热蒸发真空系统，其特征在于：所述真空系统主要包括真空室(1)、分子泵(2)和机械泵(3)，所述真空室(1)分别通过管道与分子泵(2)和机械泵(3)连接，分子泵(2)通过管道和机械泵(3)连接，真空室(1)和分子泵(2)之间的连接管道中间设置有闸板阀(4)，分子泵(2)和机械泵(3)之间的连接管道中间设置有挡板阀(5)，真空室(1)和机械泵(3)之间的连接管道中间设置有旁抽阀(6)。
2.根据权利要求1所述的镀膜热蒸发真空系统，其特征在于：所述真空室(1)的一端设置有电离(7)。
3.根据权利要求1所述的镀膜热蒸发真空系统，其特征在于：所述机械泵(3)和真空室(1)以及分子泵(2)的两部分连接管道互相交汇。
4.根据权利要求3所述的镀膜热蒸发真空系统，其特征在于：在管道的交汇点和机械泵(3)之间设置有热偶(8)。
5.根据权利要求3或4所述的镀膜热蒸发真空系统，其特征在于：所述挡板阀(5)设置在管道的交汇点和分子泵(2)之间。
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