[实用新型]离子束快速沉积类金刚石薄膜设备有效
| 申请号： | 201520405331.3 | 申请日： | 2015-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN204714891U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 杜旭颖;阮志明;王大洪;曾德强;李东新 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/06 |
| 代理公司： | 韶关市雷门专利事务所 44226 | 代理人： | 周胜明 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子束 快速 沉积 金刚石 薄膜 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子束快速沉积类金刚石薄膜设备，包括一个密封的真空腔体，其特征是：该真空腔体采用左右对称的结构，在真空腔体30°及150°位置处设置有小凸腔用于放置两个对称的高能离子源，在真空腔体0°及180°位置处设置有小凸腔用于放置放置铬靶及石墨靶，在该真空腔体内设置有一个圆环形的工件转架，在该工件转架上则均匀设置有若干个工件，在工件围成的内圆内设置有上下两排呈弧形对称排列的加热管，在真空腔体的90°侧面连有一个抽真空口，在真空腔体的270°位置开有炉门。
2.如权利要求1所述离子束快速沉积类金刚石薄膜设备，其特征是：在所述真空腔体0°及180°位置上的凸腔旁设置布置有气源管。
3.如权利要求1所述离子束快速沉积类金刚石薄膜设备，其特征是：在所述上下两排加热管之间布置有气源管。
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