[实用新型]一种易于取出硅片的硅片存放装置

权利要求书

1.一种易于取出硅片的硅片存放装置，其特征在于：包括一中空的顶端开放设置的盒体，分别在盒体前侧板内壁和盒体后侧板内壁上沿盒体的长度方向均匀间隔对称设有若干个竖直设置的卡凸，相邻两卡凸之间形成一与硅片相配合的卡槽，在盒体底板上沿盒体长度方向设有一长方形开口，在盒体下方设有一与盒体相配合的底座，在底座上设有一与长方形开口相配合的穿过长方形开口伸至盒体内的凸柱，在盒体左侧板和盒体右侧板的外侧壁上分别设有一把手。

2.根据权利要求1所述的一种易于取出硅片的硅片存放装置，其特征在于：在凸柱上表面设有一海绵层。

3.根据权利要求1或2所述的一种易于取出硅片的硅片存放装置，其特征在于：在卡凸两侧的底座上表面分别设有一海绵层。