[实用新型]真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置

说明书

技术领域

    本实用新型属于真空电弧离子镀膜设备的冷却装置，特别涉及一种真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置。

背景技术

目前用于真空离子镀膜阴极体的冷却方式主要为直接水冷。直接水冷的特点是水与阴极体直接接触，冷却快，效果明显。但是时间长，水中的水垢容易腐蚀阴极体，同时水垢也容易将水冷装置的水道堵死。真空离子镀膜阴极体的冷却方式还有间接水冷，间接水冷的特点是水与阴极体不会直接接触，而是隔着一层薄膜，这样不会腐蚀阴极体。不足之处是冷却效果不好。以上两种方式只能用于相适应的阴极体，应用条件受限制。

发明内容

    本发明的目的在于克服上述技术不足，提供一种既可直接水冷，冷却水既不会腐蚀阴极体，又不会堵死水道；又可间接水冷，冷却效果好；适应不同阴极体的真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置。

本实用新型解决技术问题所采用的方案是：一种真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置，包括水冷装置壳体，其特征在于在水冷装置壳体上设有水道；在水冷装置壳体上对称的焊接二个进出水口座，在进出水口座上设有进出水口，进出水口与水道连通；在水冷装置壳体左端设有O型密封圈槽，水冷装置壳体的中心设有M10螺孔和M12螺孔，在M10螺孔中用两端带螺纹的连接杆连接阴极体一和靶垫；靶垫上设有O型密封圈槽；壳体中心的M12L螺孔与真空镀膜炉炉体的阴极接线柱连接；在水冷装置壳体的圆周上对称的焊接两个壳体连接耳座，在壳体连接耳座上用螺栓装有绝缘垫木挂钩。

所述的靶垫和两端带螺纹的连接杆更换成靶座，在靶座上固定一个螺纹杆，在靶座腔内设有靶座内螺纹，在靶座腔内用靶座内螺纹连接有阴极体二；靶座外螺纹杆与M10螺孔螺纹连接。

本实用新型的有益效果是：该实用新型既可直接水冷，水垢既不腐蚀阴极体，又不堵水道；又可间接水冷，冷却效果好，适应不同阴极体的真空电弧离子镀膜。

附图说明

以下结合附图，以实施例来具体说明。

图1是真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置的主视图；

图2是图1中的水冷装置壳体部件主视图；

图3是图1中实施例二的直接水冷装置的解体图。

图中：1-M10螺孔； 2- M12螺孔； 3-水道； 4-O型密封圈槽； 5-进出水口； 6-壳体连接耳座； 7-阴极体一；8-靶垫； 9-两端带螺纹的连接杆； 10-阴极体二；11-靶座；12-靶座内螺纹；13-靶座外螺纹杆；14-水冷装置壳体；15-进出水口座；16-绝缘垫木挂钩。

具体实施方式

实施例一，见附图1、2、一种真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置，包括水冷装置壳体14，其特征在于在水冷装置壳体14上设有水道3；在水冷装置壳体14上对称的焊接二个进出水口座15，在进出水口座15上设有进出水口5，进出水口5与水道3连通；在水冷装置壳体14左端设有O型密封圈槽4，水冷装置壳体14的中心设有M10螺孔1，在M10螺孔1中用两端带螺纹的连接杆9连接阴极体一7和靶垫8；靶垫8上设有O型密封圈槽4；在水冷装置壳体14的圆周上对称的焊接两个壳体连接耳座6，在壳体连接耳座6上用螺栓装有绝缘木挂钩16，即可进行间接水冷。

该实用新型的使用方法是：将真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置用绝缘木挂钩16固定在镀膜设备上，冷却水管与上部的进出水口座15中的进出水口5连通，即可进行间接冷却。

实施例二，见附图3，所述的靶垫8和两端带螺纹的连接杆9更换成靶座11，在靶座11上固定一个靶座外螺纹杆13，在靶座11腔内设有靶座内螺纹12，在靶座11腔内用靶座内螺纹12连接有阴极体二10；靶座外螺纹杆13与M10螺孔1螺纹连接，即可进行直接冷却，其它同实施例一。

该实用新型功能齐全，冷却效果好，更换方便快捷，深受用户欢迎。