[实用新型]真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置

权利要求书

1.一种真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置，包括水冷装置壳体（14），其特征在于水冷装置壳体（14）上设有水道（3）；在水冷装置壳体（14）上对称的焊接两个进出水口座（15），在进出水口座（15）上设有进出水口（5），进出水口（5）与水道（3）连通；在水冷装置壳体（14）左端设有O型密封圈槽（4），水冷装置壳体（14）的中心设有M10螺孔（1）和M12螺孔（2），在M10螺孔（1）中用两端带螺纹的连接杆（9）连接阴极体一（7）和靶垫（8）；靶垫（8）上设有O型密封圈槽（4）；在水冷装置壳体（14）的圆周上对称的焊接两个绝缘壳体连接耳座（6），在绝缘壳体连接耳座（6）上用螺栓装有绝缘垫木装置（16）。

2.根据权利要求1所述的真空电弧离子镀膜阴极体两用的水冷装置，其特征在于所述的靶垫（8）和两端带螺纹的连接杆（9）更换成靶座（11），在靶座（11）上固定一个靶座外螺纹杆（13），在靶座（11）腔内设有靶座内螺纹孔（12），在靶座（11）腔内用靶座内螺纹（12）连接有阴极体二（10）；靶座外螺纹杆（13）装在M10螺孔（1）螺纹连接。