[实用新型]一种硅片送料轨道

权利要求书

1.一种硅片送料轨道，其特征在于，包括第一传送轨道（1）、若干第二轨道（3）和控制装置（5），所述第一传送轨道（1）的宽度和若干第二传送轨道（3）的宽度均小于硅片的宽，所述若干第二传送轨道（3）固定连接于第一传送轨道（1）的同一侧，所述若干第二传送轨道（3）和第一传送轨道（1）位于同一水平面上且相互垂直，所述控制装置（5）用于控制第一传送轨道（1）和若干第二轨道（3）的传送速度。

2.如权利要求1所述的硅片送料轨道，其特征在于，或所述第一传送轨道（1）低于第二传送轨道（3）1~3mm，所述第一传送轨道（1）正对若干第二传送轨道（3）的部分设有升降平面（2）和可升降的限位装置（4）。

3.如权利要求1或2所述的硅片送料轨道，其特征在于，所述控制装置（5）用于控制升降平面（2）和限位装置（4）的升降。

4.如权利要求3所述的硅片送料轨道，其特征在于，所述升降平面（2）的上表面为圆形。

5.如权利要求2所述的硅片送料轨道，其特征在于，所述限位装置（4）为柔性限位装置。