[实用新型]机台探针更换装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其是一种机台探针更换装置。

背景技术

AFM(Atomic Force Microscope，原子力显微镜)机台的探针需要定期更换，目前更换的主要方式是通过人工手动方式进行更换。

在运输的过程中，为了保护所述探针不会由于碰到所述包装盒的盖子而损坏所述探针，所述探针在包装盒中时，所述探针的背面朝上，那么在使用所述探针时，需要将所述探针翻面，也就是说使得所述探针的正面朝上，然后再将所述探针放置到探针盒指定的针槽中。

在人工手动更换过程中，一般采用镊子夹取的方式，就是人工用镊子将所述探针从包装盒中将所述探针夹取出来，然后翻面，需要用手一直捏住镊子，并且，在夹取的过程中要保证所述探针的探针头不能碰到任何东西，一旦因为手抖或者其他原因使得所述探针头碰到其他的东西，所述探针即会损坏而不能使用，即所述探针作废。而在将所述探针放入针槽中的过程中，人工在摆放的过程中存在摆放的死角，容易使所述探针放置的位置便宜，从而导致机台自动吸取所述探针失败，安装精度不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种机台探针更换装置，以解决手动探针更换过程中导致探针损坏而安装失败以及安装精度不高的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了一种机台探针更换装置，包括：

基座；

第一立柱，所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面；

第一连接头，所述第一立柱穿过所述第一连接头，所述第一连接头可沿所述第一立柱滑动以及围绕所述第一立柱转动；

第一横杆，所述第一横杆的一端与所述第一连接头连接，另一端与一承放台连接；

第二连接头，所述第一横杆穿过所述第二连接头，所述第二连接头可沿所述第一横杆滑动以及围绕所述第一横杆转动；

第二立柱，所述第二立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第二立柱穿过一第三连接头，所述第三连接头可沿所述第二立柱滑动以及围绕所述第二立柱转动；

第二横杆，所述第二横杆的一端与所述第三连接头连接，另一端与一第一探针吸取装置连接；

第三立柱，所述第三立柱的一端与所述第二连接头连接，所述第三立柱穿过一第四连接头，所述第四连接头可沿所述第三立柱滑动以及围绕所述第三立柱转动；以及

第三横杆，所述第三横杆的一端与所述第四连接头连接，另一端与一第二探针吸取装置连接。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一横杆与所述基座的上表面平行。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二横杆与所述基座的上表面平行。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第三横杆与所述基座的上表面平行。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二立柱与所述第一横杆垂直。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二横杆和所述第二立柱垂直，所述第三横杆和所述第三立柱垂直。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二立柱和所述第三立柱在同一条直线上。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一探针吸取装置包括一第一注射器，所述第一注射器的针头处设置一第一吸头，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀连接。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀通过一第一弹簧连接。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第一吸头面向所述承放台，所述第一注射器的推动阀背离所述承放台。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二探针吸取装置包括一第二注射器，所述第二注射器的针头处设置一第二吸头，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀连接。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀通过一第二弹簧连接。

优选的，在上述的机台探针更换装置中，所述第二吸头面向所述承放台，所述第二注射器的推动阀背离所述承放台。