[实用新型]机台探针更换装置有效
申请号: | 201520351706.2 | 申请日: | 2015-05-27 |
公开(公告)号: | CN204694732U | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 陆飞;李文 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G01Q60/38 | 分类号: | G01Q60/38 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 机台 探针 更换 装置 | ||
1.一种机台探针更换装置,其特征在于,包括:
基座;
第一立柱,所述第一立柱垂直固定于所述基座的上表面;
第一连接头,所述第一立柱穿过所述第一连接头,所述第一连接头可沿所述第一立柱滑动以及围绕所述第一立柱转动;
第一横杆,所述第一横杆的一端与所述第一连接头连接,另一端与一承放台连接;
第二连接头,所述第一横杆穿过所述第二连接头,所述第二连接头可沿所述第一横杆滑动以及围绕所述第一横杆转动;
第二立柱,所述第二立柱的一端与所述第二连接头连接,所述第二立柱穿过一第三连接头,所述第三连接头可沿着所述第二立柱滑动以及围绕所述第二立柱转动;
第二横杆,所述第二横杆的一端与所述第三连接头连接,另一端与一第一探针吸取装置连接;
第三立柱,所述第三立柱的一端与所述第二连接头连接,所述第三立柱穿过一第四连接头,所述第四连接头可沿所述第三立柱滑动以及围绕所述第三立柱转动;以及
第三横杆,所述第三横杆的一端与所述第四连接头连接,另一端与一第二探针吸取装置连接。
2.如权利要求1所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第一横杆与所述基座的上表面平行。
3.如权利要求1所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第二横杆与所述基座的上表面平行。
4.如权利要求1所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第三横杆与所述基座的上表面平行。
5.如权利要求1所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第二立柱与所述第一横杆垂直。
6.如权利要求1所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第二横杆和所述第二立柱垂直,所述第三横杆和所述第三立柱垂直。
7.如权利要求1所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第二立柱和所述第三立柱在同一条直线上。
8.如权利要求1所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第一探针吸取装置包括一第一注射器,所述第一注射器的针头处设置一第一吸头,所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀连接。
9.如权利要求8所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第一吸头所在一侧的内壁与所述第一注射器的推动阀通过一第一弹簧连接。
10.如权利要求8所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第一吸头面向所述承放台,所述第一注射器的推动阀背离所述承放台。
11.如权利要求1所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第二探针吸取装置包括一第二注射器,所述第二注射器的针头处设置一第二吸头,所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀连接。
12.如权利要求11所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第二吸头所在一侧的内壁与所述第二注射器的推动阀通过一第二弹簧连接。
13.如权利要求11所述的机台探针更换装置,其特征在于,所述第二吸头面向所述承放台,所述第二注射器的推动阀背离所述承放台。
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