[实用新型]可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统

权利要求书

1.一种可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，包括真空室以及用于抽取所述真空室内废气至排气口的废气抽取机构，所述真空室的出气口处设置有用于导出所述真空室内废气至所述排气口的导气管，所述废气抽取机构包括第一蒸汽泵组件以及水环泵组件，所述第一蒸汽泵组件包括依次连通的至少两个第一蒸汽泵，各所述第一蒸汽泵依次串联于所述导气管上，所述水环泵组件包括串联于所述导气管上的水环泵，且所述水环泵位于所述排气口与所述第一蒸汽泵组件之间，其特征在于：还包括调压机构，所述调压机构包括一端与外界连通的进气管以及设置于所述进气管上的调压阀，所述进气管的另一端与所述导气管连通，且所述导气管与所述进气管之间的连接处位于沿废气流向的第二个所述第一蒸汽泵与所述真空室之间的所述导气管上。

2.如权利要求1所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：所述调压机构还包括设置于所述导气管上的压力传感器，所述压力传感器位于沿废气流向的第二个所述第一蒸汽泵与所述真空室之间的所述导气管上，且所述压力传感器与所述调压阀电性连接。

3.如权利要求2所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：所述压力传感器位于沿废气流向的第一个所述第一蒸汽泵与所述真空室之间的所述导气管上。

4.如权利要求1所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：所述导气管与所述进气管之间的连接处位于沿废气流向的第二个所述第一蒸汽泵与第一个所述第一蒸汽泵之间的所述导气管上。

5.如权利要求1-4任一项所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：于所述第一蒸汽泵组件与所述真空室之间的所述导气管上设置有主控阀，所述调压机构与所述导气管的连接处均位于所述主控阀远离所述真空室的一侧。

6.如权利要求1-4任一项所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：所述废气抽取机构还包括至少一个冷凝塔以及与所述冷凝塔一一对应的喷淋组件，各所述冷凝塔依次导通至所述排气口，由所述第一蒸汽泵组件排出的气体依次进入各所述冷凝塔内，所述水环泵与其中一所述冷凝塔连通。

7.如权利要求6所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：于相邻两所述冷凝塔之间还串联有第二蒸汽泵组件，前一所述冷凝塔内气体经所述第二蒸汽泵组件进入后一所述冷凝塔内，所述水环泵与其中一组所述第二蒸汽泵组件并联。

8.如权利要求7所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：所述第二蒸汽泵组件均包括有至少一个第二蒸汽泵，每一所述第二蒸汽泵组件的各所述第二蒸汽泵均与相邻两所述冷凝塔连通。

9.如权利要求8所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：所述废气抽取机构包括依次串联的三个所述第一蒸汽泵以及依次串联的两个所述第二蒸汽泵，所述水环泵与沿废气流向的后一所述第二蒸汽泵并联设置。

10.如权利要求1所述的可自动调压的水环泵-蒸汽喷射泵的管路系统，其特征在于：所述调压机构还包括设置于所述进气管上的切断阀，所述切断阀位于所述调压阀与所述进气管与外界连通的端部之间。