[实用新型]一种具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚

权利要求书

1.一种具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，包括埚体和埚盖，其特征在于：还包括排气筒，所述排气筒的下端和所述埚盖均设置有多个环形凹槽，所述排气筒的上端和所述埚体均设置有多个环形凸起，所述排气筒的下端通过所述环形凹槽和所述环形凸起与所述埚体密封连接，所述排气筒的上端通过所述环形凹槽和所述环形凸起与所述埚盖密封连接，所述排气筒与所述埚盖的连接处套有上密封条，所述排气筒与所述埚体的连接处套有下密封条，所述排气筒的侧壁设置有多个与所述埚体内部相通的折叠式排气孔。

2.根据权利要求1所述的具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，其特征在于：所述排气筒下端的多个环形凹槽与所述埚体的多个环形凸起啮合，所述排气筒上端的多个环形凸起与所述埚盖的多个环形凹槽啮合。

3.根据权利要求1或2所述的具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，其特征在于：所述排气筒的下端和所述埚盖均设置有内外三个环形凹槽，所述排气筒的上端和所述埚体均设置有内外三个环形凸起。

4.根据权利要求1所述的具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，其特征在于：所述上密封条和所述下密封条均为通过螺栓锁紧的弹性开环式结构。

5.根据权利要求1所述的具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，其特征在于：所述折叠式排气孔有四个，且均匀设置在所述排气筒侧壁的前后左右四个位置。

6.根据权利要求1所述的具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，其特征在于：所述埚盖设置有拉环。

7.根据权利要求1所述的具有防外部污染结构的高纯度氧化铝坩埚，其特征在于：所述排气筒的侧壁设置有扶手。