[实用新型]固定装置有效

专利信息
申请号: 201520289304.4 申请日: 2015-05-06
公开(公告)号: CN204809202U 公开(公告)日: 2015-11-25
发明(设计)人: 蒋子龙;陆飞;苏晓光 申请(专利权)人: 武汉新芯集成电路制造有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 吴俊
地址: 430205 湖北*** 国省代码: 湖北;42
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 固定 装置
【权利要求书】:

1.一种固定装置,应用于电极的安装,包括第一电极以及与所述第一电极相匹配的第二电极,其特征在于,包括:

基座,于所述基座上设置有一具有预定角度的V型槽凸起,所述V型槽凸起用以固定所述第二电极;

支撑装置;

于垂直方向可移动承载台,所述承载台通过所述支撑装置连接所述基座,所述承载台中心设置有一用以放置所述第一电极的空心圆,并于所述空心圆的底部设置有一固定所述第一电极的固定装置;

调节装置,设置于所述支撑装置上,用以调节所述承载台与所述基座之间的距离,于所述基座与所述承载台之间的距离最小时,将所述第一电极与所述第二电极通过一连接装置连接。

2.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述支撑装置主要由第一导轨、第二导轨和一滚珠丝杆形成;

所述第一导轨、所述第二导轨分别设置于所述基座的任一对角线两端,所述滚珠丝杆与所述第一导轨、所述第二导轨于所述基座上采用三角形连接方式并设置于所述V型槽凸起上。

3.根据权利要求2所述的固定装置,其特征在于,所述调节装置为一手柄,所述手柄固定设置于所述滚珠丝杆的螺杆上,转动所述手柄,调节所述滚珠丝杆的螺母于所述螺杆上的相对位置。

4.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,还包括一可活动卡紧装置,设置于所述V型槽凸起的开口方向,所述卡紧装置包括一与所述第二电极相匹配的凹槽,于所述卡紧装置处于关闭状态下,所述卡紧装置的所述凹槽与所述V型槽凸起固定所述第二电极。

5.根据权利要求4所述的固定装置,其特征在于,于卡紧装置的所述凹槽处设置有防滑凸起。

6.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述V型槽凸起的所述预定角度为90°。

7.根据权利要求4所述的固定装置,其特征在于,所述基座上设置一匹配所述卡紧装置的锁紧装置,所述锁紧装置于所述卡紧装置处于关闭状态下锁紧所述卡紧装置。

8.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述连接装置为螺丝,于所述承载台与所述基座之间的距离最小时,通过所述螺丝将所述第一电极与所述第二电极相连。

9.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述基座的对角线与所述承载台的相对应的对角线处于同一垂直面。

10.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,于所述第二电极固定于所述V型槽凸起时,所述第二电极内切所述V型槽凸起。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉新芯集成电路制造有限公司,未经武汉新芯集成电路制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201520289304.4/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top