[实用新型]固定装置有效
| 申请号: | 201520289304.4 | 申请日: | 2015-05-06 |
| 公开(公告)号: | CN204809202U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
| 发明(设计)人: | 蒋子龙;陆飞;苏晓光 | 申请(专利权)人: | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人: | 吴俊 |
| 地址: | 430205 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 固定 装置 | ||
1.一种固定装置,应用于电极的安装,包括第一电极以及与所述第一电极相匹配的第二电极,其特征在于,包括:
基座,于所述基座上设置有一具有预定角度的V型槽凸起,所述V型槽凸起用以固定所述第二电极;
支撑装置;
于垂直方向可移动承载台,所述承载台通过所述支撑装置连接所述基座,所述承载台中心设置有一用以放置所述第一电极的空心圆,并于所述空心圆的底部设置有一固定所述第一电极的固定装置;
调节装置,设置于所述支撑装置上,用以调节所述承载台与所述基座之间的距离,于所述基座与所述承载台之间的距离最小时,将所述第一电极与所述第二电极通过一连接装置连接。
2.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述支撑装置主要由第一导轨、第二导轨和一滚珠丝杆形成;
所述第一导轨、所述第二导轨分别设置于所述基座的任一对角线两端,所述滚珠丝杆与所述第一导轨、所述第二导轨于所述基座上采用三角形连接方式并设置于所述V型槽凸起上。
3.根据权利要求2所述的固定装置,其特征在于,所述调节装置为一手柄,所述手柄固定设置于所述滚珠丝杆的螺杆上,转动所述手柄,调节所述滚珠丝杆的螺母于所述螺杆上的相对位置。
4.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,还包括一可活动卡紧装置,设置于所述V型槽凸起的开口方向,所述卡紧装置包括一与所述第二电极相匹配的凹槽,于所述卡紧装置处于关闭状态下,所述卡紧装置的所述凹槽与所述V型槽凸起固定所述第二电极。
5.根据权利要求4所述的固定装置,其特征在于,于卡紧装置的所述凹槽处设置有防滑凸起。
6.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述V型槽凸起的所述预定角度为90°。
7.根据权利要求4所述的固定装置,其特征在于,所述基座上设置一匹配所述卡紧装置的锁紧装置,所述锁紧装置于所述卡紧装置处于关闭状态下锁紧所述卡紧装置。
8.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述连接装置为螺丝,于所述承载台与所述基座之间的距离最小时,通过所述螺丝将所述第一电极与所述第二电极相连。
9.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述基座的对角线与所述承载台的相对应的对角线处于同一垂直面。
10.根据权利要求1所述的固定装置,其特征在于,于所述第二电极固定于所述V型槽凸起时,所述第二电极内切所述V型槽凸起。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





