[实用新型]激光检测仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种激光检测仪，特别是涉及一种可对微米级尺寸的滤光玻璃缺陷进行快速直观检测的激光检测仪。

背景技术

光学玻璃是光学仪器系统中的重要元件，其性能对整个系统有着非常重要的影响。由于光学玻璃在熔炼的过程中内部产生的气泡、结石等缺陷对光学系统中的光束产生吸收、散射和聚焦等不同程度的影响,而现在国内外相关报告仅仅依靠聚光灯和工程显微镜等原始检测手段进行检测，聚光灯光束质量较差，发散角度偏大属于复合光，工程显微镜检测的效率低，不能够满足生产在线检测。

特别是针对只对400-550nm波段的光波透过率比较好的滤光玻璃，其光谱透过率仅能达到90％，因此聚光灯、工程显微镜等原始手段不能够满足目前对滤光玻璃缺陷的检测，也缺乏相关检测手段，不能对滤光玻璃产品内部产生的气泡、结石等缺陷进行检测。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种激光缺陷检测仪，可对微米级尺寸的滤光玻璃缺陷进行快速直观的检测。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：激光检测仪，按光路依次包括检测光源、光束变倍扩束镜装置、工作台和图像采集系统。

进一步的，在所述图像采集系统后还设置有计算机，所述计算机控制图像采集系统对设置在工作台上的待测样品中的缺陷进行采集与处理。

进一步的，所述检测光源采用515nm绿光固体激光器。

进一步的，所述光束变倍扩束镜装置采用四级设计，扩束倍数2-8倍连续可变。

进一步的，所述工作台采用手动二维调整台。

进一步的，所述图像采集系统采用高清CCD相机，高清CCD相机把缺陷点亮并放大呈现在计算机上。

本实用新型的有益效果是：针对滤光玻璃的光谱特性，对大功率固体激光器光源进行扩束处理，CCD高清相机把缺陷点亮并放大呈现在计算机上，灵活便捷地实现待测滤光玻璃中的缺陷快速检测以及检测效果的比较，从而实现对微米级尺寸的滤光玻璃内部缺陷进行检测，为光学玻璃熔炼生产以及质量控制提供支持，实用新型结构紧凑，分辨率效果好。

附图说明

图1是本实用新型的激光检测仪的结构示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型的高能激光检测仪按光路依次包括检测光源1、光束变倍扩束镜装置2、工作台3、图像采集系统4和计算机6，其中，计算机6控制图像采集系统4对设置在工作台3上的待测样品7中的缺陷进行采集与处理。本实用新型的光束变倍扩束镜装置2可对检测光源1发出的2mm光斑进行扩束整形，最大可以到16mm。

检测光源1可采用515nm绿光固体激光器；光束变倍扩束镜装置2可采用四级设计，扩束倍数2-8倍连续可变，对大功率固体激光器光源进行扩束处理；工作台3可采用手动二维调整台，可以水平、竖直精密调节，转轮上标有刻度，可以记录移动距离；图像采集系统4可采用高清CCD工业相机，CCD高清相机把缺陷点亮并放大呈现在计算机6上；计算机6可采用连接图像采集系统，通过PC图像采集软件准确快速地对待测样品7中的缺陷进行采集与处理。

工作时，首先将检测光源1的开关打开，预热10分钟，待光斑稳定后，将待测样品7放在工作台3上。调节工作台3的竖直方向旋钮，直至待测样品7的端面与工作台3的端面平行，让检测光源1垂直入射待测样品7为止，并锁紧旋杆上的锁紧装置，接通图像采集系统4的电源，打开计算机6，调节工作台3的水平方向旋钮，对待测样品7进行扫描和检测。

采用本实用新型的高能激光缺陷检测仪，可对微米级尺寸的待测滤光玻璃的气泡和结石进行检测，具有快速直观的特点，适合生产在线检测，结构紧凑，分辨效果好。