[实用新型]激光检测仪有效
| 申请号： | 201520287932.9 | 申请日： | 2015-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN204789358U | 公开（公告）日： | 2015-11-18 |
| 发明（设计）人： | 马志远;马伯涛;吴志强;吴德林;周佺佺;裴春艳;张祖义 | 申请（专利权）人： | 成都光明光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610100 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 检测 | ||
【权利要求书】：
1.激光检测仪，其特征在于：按光路依次包括检测光源(1)、光束变倍扩束镜装置(2)、工作台(3)和图像采集系统(4)。
2.如权利要求1所述的激光检测仪，其特征在于：在所述图像采集系统(4)后还设置有计算机(6)，所述计算机(6)控制图像采集系统(4)对设置在工作台(3)上的待测样品(7)中的缺陷进行采集与处理。
3.如权利要求1所述的激光检测仪，其特征在于：所述检测光源(1)采用515nm绿光固体激光器。
4.如权利要求1所述的激光检测仪，其特征在于：所述光束变倍扩束镜装置(2)采用四级设计，扩束倍数2-8倍连续可变。
5.如权利要求1所述的激光检测仪，其特征在于：所述工作台(3)采用手动二维调整台。
6.如权利要求1所述的激光检测仪，其特征在于：所述图像采集系统(4)采用高清CCD相机，CCD高清相机把缺陷点亮并放大呈现在计算机(6)上。
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