[实用新型]一种基板料盒的夹持装置有效
| 申请号： | 201520271583.1 | 申请日： | 2015-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN204668288U | 公开（公告）日： | 2015-09-23 |
| 发明（设计）人： | 袁雍煜 | 申请（专利权）人： | 爱立发自动化设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687;H01L21/68 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 刘朵朵 |
| 地址： | 200233 上海市徐汇*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 板料 夹持 装置 | ||
1.一种基板料盒的夹持装置，包括放置基板料盒的平台(1)，其特征在于：所述平台(1)为矩形，在平台(1)的相互垂直的两边分别设置有用于定位基板料盒(2)的固定的横向定位条(3)和纵向定位条(4)，在平台的另外两边的边缘，平行于所述横向定位条(3)和纵向定位条(4)分别设置有能顶住所述基板料盒的夹持机构(5)，所述夹持机构(5)与平行的定位条结合夹持固定基板料盒，所述夹持机构(5)包括中间铰接的二连杆(6)，所述二连杆(6)的一端固定在平台边，另一端有销孔，通过匹配的插销(7)插在平台表面的不同位置的限位孔(8)内固定。
2.如权利要求1所述的基板料盒的夹持装置，其特征在于：所述二连杆(6)的一端固定在平台边的第一连杆(61)为直条形，与第一连杆(61)铰接的第二连杆(62)包括铰接处的受力部分和与受力部分垂直的水平顶杆部分，所述第二连杆(62)的水平顶杆部分顶住基板料盒(2)侧面，与对面平行的定位条结合夹持固定基板料盒(2)。
3.如权利要求1所述的基板料盒的夹持装置，其特征在于：所述限位孔(8)设置有多个，包括与横向定位条平行的二连杆对应的X方向限位孔(81)和与纵向定位条平行的二连杆对应的Y方向限位孔(82)，所述X方向限位孔(81)设置的数量与基板料盒的纵向的不同尺寸的数量相同，所述Y方向限位孔(82)设置的数量与基板料盒的横向的不同尺寸的数量相同。
4.如权利要求3所述的基板料盒的夹持装置，其特征在于：所述X方向限位孔(81)设置有三个，Y方向限位孔(82)设置有两个。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
