[实用新型]一种基板检测装置

权利要求书

1.一种基板检测装置，位于中央为多边形传输腔的团簇型真空设备内，所述多边形传输腔外接有2个或多个功能腔，内部具有与所述功能腔相对应的基板检测工位，所述基板检测装置包含多套传感器，所述传感器包括位于所述传输腔的顶部或底部的发射部和位于所述传输腔的底部或顶部的接收部，其特征在于：至少一套传感器可以正对于相邻的两个检测工位中基板的某一待检测部位。

2.如权利要求1所述的一种基板检测装置，其特征在于:所述基板检测装置用于对矩形基板进行检测，所述传感器的发射部和接收部对应于所述矩形基板的顶角位置。

3.如权利要求2所述的一种基板检测装置，其特征在于：所述多边形传输腔外接有3个以上的功能腔，与所述功能腔相接的所述传输腔的边为对应边，则所述每相邻的2个对应边之间形成的夹角相同。

4.如权利要求3所述的一种基板检测装置，其特征在于：所述矩形基板包括第一边长和第二边长，所述第一边长与基板进出功能腔的运动方向垂直，所述第二边长与基板进出功能腔的运动方向平行。

5.如权利要求4所述的一种基板检测装置，其特征在于：在所述传输腔内部能够构建一个以所述基板第一边长的长度为边长的内部正多边形，其边数应与所述功能腔之间形成的夹角相对应。

6.如权利要求4所述的一种基板检测装置，其特征在于：所述传输腔为正多边形腔体，则以该正多边形的中心为中心，以所述基板第一边长的长度为边长构建一个内部正多边形，所述内部正多边形的边数与所述传输腔边数相同，在对应有所述检测工位的所述内部正多边形的顶点位置处设置有传感器。

7.如权利要求1-5中任一项所述的一种基板检测装置，所述基板为面积大于1m²的矩形基板。