[实用新型]一种金属有机化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，包括中心其他入口(1)、喷淋气体入口(2)、侧壁吹扫气体入口(3)、石墨盘(4)、电阻片加热器(5)、石英整流罩(6)、气体出口(7)和加热器反射板(8)，所述石墨盘(4)上方设置有由中心至边缘分别设置有中心其他入口(1)、喷淋气体入口(2)、侧壁吹扫气体入口(3)，石墨盘(4)下方设置有电阻片加热器(5)，所述电阻片加热器(5)下方设置有多个加热器反射板(8)，所述石墨盘(4)和加热器反射板(8)外侧设置有石英整流罩(6)，石英整流罩(6)下方设置有气体出口(7)。

2.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述的喷淋气体入口(2)为间距15mm的环形气体入口。

3.根据权利要求1所述的一种金属有机化学气相沉积设备，其特征在于，所述的电阻片加热器(5)为环形片。