[实用新型]一种自动纠偏的磁控溅射传动装置

说明书

技术领域

本实用新型属于真空镀膜领域，涉及一种传动装置，特别涉及一种自动纠偏的磁控溅射传动装置。

背景技术

在太阳能电池中，薄膜电池具有更强的弱光效应，廉价的制备材料，更佳的视觉效果及易于大规模连续化生产等优点，在光伏建筑一体化（BIPV）中具有广阔的发展前景。对于Si基薄膜电池来说，背电极的导电性能及膜层结构在整个电池的工艺中处于一个非常重要的地位，Si基薄膜电池背电极利用磁控溅射技术（magnetron sputtering，简称PVD）制备，在溅射过程中，芯片通过多室连续溅射从而才能达到需要的膜层精度及工艺。

现有工艺中常用的传动系统是通过底部导轮达成传动，侧边导轮达成芯片在传动过程中的跑偏现象，但在生产过程中在碰到侧边导轮时经常卡住，造成设备卡料，必须破真空处理，很大程度上影响生产的连续性，造成生产成本的增高。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是如何克服现有技术的上述缺陷，提供一种自动纠偏的磁控溅射传动装置。

本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本一种自动纠偏的磁控溅射传动装置，包括：

传动支架，其包括上、下两排横向支架和用于支撑所述横向支架的竖向支架；

固定于传动支架上的伺服电机；

安装于伺服电机转动轴上的皮带轮；

安装于下排横向支架上的两排N列变向齿轮；

传动皮带，其连接皮带轮和位于第一排第一列的变向齿轮；

N个传动轴Ⅰ，每个传动轴Ⅰ均连接每列两个变形齿轮；

传动轮，其安装于N个传动轴Ⅰ上；

2N-2个传动轴Ⅱ，每个传动轴Ⅱ均连接每排两两相邻的变形齿轮；

连接N列变向齿轮转动轴的N列偏心轮轴；

固定于N列偏心轮轴上、且位于上排横向支架上的N列偏心轮；

弹性拨片，其一端固定于上排横向支架上、另一端与偏心轮接触；N为3-10。

作为优化，所述偏心轮的左右两侧各安装一个弹性拨片。

作为优化，所述弹性拨片为双弧形。

作为优化，所述变向齿轮为5列。

本实用新型一种自动纠偏的磁控溅射传动装置的有益效果是：

本一种自动纠偏的磁控溅射传动装置，结构简单、设计科学、使用方便，在磁控溅射过程中不需要破真空处理就可以把芯片前进方向进行纠正，避免因芯片卡料造成的down机，保证了生产的连续性，降低了生产成本。具有较好的实际应用价值和推广价值。

附图说明

下面结合附图对本一种自动纠偏的磁控溅射传动装置作进一步说明：

图1是本一种自动纠偏的磁控溅射传动装置的结构示意图。

图中：1为传动支架、2为伺服电机、3为皮带轮、4为传动皮带、5为变向齿轮、6为传动轴Ⅰ、7为传动轮、8为传动轴Ⅱ、9为偏心轮轴、10为偏心轮、11为弹性拨片。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下参照附图并举实施例，对本实用新型进一步详细说明。

如图1所示，本一种自动纠偏的磁控溅射传动装置，包括：

传动支架1，其包括上、下两排横向支架和用于支撑所述横向支架的竖向支架；

固定于传动支架1上的伺服电机2；

安装于伺服电机2转动轴上的皮带轮3；

安装于下排横向支架上的两排5列变向齿轮5；

传动皮带4，其连接皮带轮3和位于第一排第一列的变向齿轮5；

5个传动轴Ⅰ6，每个传动轴Ⅰ6均连接每列两个变形齿轮5；

传动轮7，其安装于5个传动轴Ⅰ6上；

8个传动轴Ⅱ8，每个传动轴Ⅱ8均连接每排两两相邻的变形齿轮5；

连接5列变向齿轮5转动轴的5列偏心轮轴9；

固定于5列偏心轮轴9上、且位于上排横向支架上的5列偏心轮10；

弹性拨片11，其一端固定于上排横向支架上、另一端与偏心轮10接触。

如此设计，通过上述自动纠偏的磁控溅射传动装置，当芯片在传动轨道上发生偏移时，可通过偏心轮的非线性运动带动弹性拨片对芯片进行拨正，从而在磁控溅射过程中不需要破真空处理就可以把芯片前进方向进行纠正，避免因芯片卡料造成的down机，保证了生产的连续性。

具体的，所述偏心轮10的左右两侧各安装一个弹性拨片11。如此设计，可以实现芯片在运行过程中前后两个方向运动都能达到自动纠偏功能，使用效果较好。