[实用新型]一种自动纠偏的磁控溅射传动装置有效
| 申请号： | 201520217739.8 | 申请日： | 2015-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN204550700U | 公开（公告）日： | 2015-08-12 |
| 发明（设计）人： | 刘林;檀玉珩 | 申请（专利权）人： | 山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 郭禾苗 |
| 地址： | 251200 山东省德州*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 自动 纠偏 磁控溅射 传动 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种自动纠偏的磁控溅射传动装置，其特征在于，包括：
传动支架，其包括上、下两排横向支架和用于支撑所述横向支架的竖向支架；
固定于传动支架上的伺服电机；
安装于伺服电机转动轴上的皮带轮；
安装于下排横向支架上的两排N列变向齿轮；
传动皮带，其连接皮带轮和位于第一排第一列的变向齿轮；
N个传动轴Ⅰ，每个传动轴Ⅰ均连接每列两个变形齿轮；
传动轮，其安装于N个传动轴Ⅰ上；
2N-2个传动轴Ⅱ，每个传动轴Ⅱ均连接每排两两相邻的变形齿轮；
连接N列变向齿轮转动轴的N列偏心轮轴；
固定于N列偏心轮轴上、且位于上排横向支架上的N列偏心轮；
弹性拨片，其一端固定于上排横向支架上、另一端与偏心轮接触；N为3-10。
2.如权利要求1所述的一种自动纠偏的磁控溅射传动装置，其特征在于：所述偏心轮的左右两侧各安装一个弹性拨片。
3.如权利要求2所述的一种自动纠偏的磁控溅射传动装置，其特征在于：所述弹性拨片为双弧形。
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