[实用新型]双层机械手的安装定位工装

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体镀膜设备中基于双层机械手的安装定位工装，此结构主要应用于双层机械手的前端手指安装及定位过程中，属于半导体镀膜设备的制造及应用技术领域。

背景技术

现有的半导体镀膜设备为提高设备产能，大部分采用了双层机械手传取片，但是在设备每次的装配、移位、水平调整及传片调试中，双层机械手的前端手指安装、调平及传片测试都比较耗时，调平流程比较复杂，大大增加了设备的整体维护时间。

发明内容

本实用新型以解决上述问题为目的，设计了一种新型的基于双层机械手的安装定位工装结构，不仅能实现双层机械手前端手指的安装与调平的一体式操作，而且减少了设备的整体维护时间并降低了水平调整的复杂程度，尤其适用于双层机械手为左右对称的双臂结构。

为实现上述目的，本实用新型采用下述技术方案：双层机械手的安装定位工装，包括安装定位基板(1)、机械手下层前端手指的定位孔(6)、机械手上层前端手指的定位孔(7)，其中安装定位基板(1)为对称结构，用于定位机械手上下层前端手指，而机械手下层前端手指的定位孔(6)、机械手上层前端手指的定位孔(7)的精确度完全依靠机械加工精度保证。

具体安装方法：先将安装定位基板(1)的机械手上层前端手指的定位孔(7)与机械手上层手臂(4)上的安装螺钉孔对齐并固定，再将机械手下层前端手指(2)沿着定位基板(1)的方向装入到机械手上层手臂(4)上固定锁紧，然后将安装定位基板(1)拆下。再进行机械手下层前端手指(3)的安装固定，将安装定位基板(1)的机械手下层前端手指的定位孔(6)与机械手下层手臂(5)上的安装螺钉孔对齐并固定，再将机械手下层前端手指(3)沿着定位基板(1)的方向装入到机械手下层手臂(5)上固定锁紧，然后将安装定位基板(1)拆下，(8)为机械手下层前端手指与安装定位基板的位置关系，以上为双层机械手左侧前端手指的实施方式。那么对于双层机械手右侧的前端手指安装定位实施方式只需要将机械手下层前端手指的定位孔(6)与机械手上层前端手指的定位孔(7)的位置互换便可，操作方法如上。

本实用新型的有益效果及特点在于：

1、结构合理，利用安装定位基板的对称及定位孔结构实现了对双层机械手的安装及定位，安装完成后不需要再去调整机械手前端手指的水平度，缩短了对整个设备的水平调整时间；

2、此工装结构适用于双层机械手为左右对称的双臂结构。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，也是本实用新型的具体实施方式。

具体实施方式

实施例

参照附图1，双层机械手的安装定位工装，包括安装定位基板1、机械手下层前端手指的定位孔6、机械手上层前端手指的定位孔7，其中安装定位基板1为对称结构，用于定位机械手上下层前端手指，而机械手下层前端手指的定位孔6、机械手上层前端手指的定位孔7的精确度完全依靠机械加工精度保证。

具体安装方法：先将安装定位基板1的机械手上层前端手指的定位孔7与机械手上层手臂4上的安装螺钉孔对齐并固定，再将机械手上层前端手指2沿着定位基板1的方向装入到机械手上层手臂4上固定锁紧，然后将安装定位基板1拆下。再进行机械手下层前端手指3的安装固定，将安装定位基板1的机械手下层前端手指的定位孔6与机械手下层手臂5上的安装螺钉孔对齐并固定，再将机械手下层前端手指3沿着定位基板1的方向装入到机械手下层手臂5上固定锁紧，然后将安装定位基板1拆下，图中所示机械手下层前端手指与安装定位基板的位置关系8，以上为双层机械手左侧前端手指的实施方式。那么对于双层机械手右侧的前端手指安装定位实施方式只需要将机械手下层前端手指的定位孔6与机械手上层前端手指的定位孔7的位置互换便可，操作方法如上。