[实用新型]基于扫描探针显微镜的材料耐电晕放电老化性能检测装置有效
| 申请号： | 201520207523.3 | 申请日： | 2015-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN204479610U | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | 孙志;付琳清;刘丛吉;韩柏 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00;G01Q60/46;G01Q60/50 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 胡树发 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 扫描 探针 显微镜 材料 电晕 放电 老化 性能 检测 装置 | ||
1.基于扫描探针显微镜的材料耐电晕放电老化性能检测装置，它包括导电纸(1)、保护电阻(2)和高压电源(3)；所述导电纸(1)的一端通过保护电阻(2)接入高压电源(3)；
其特征是：它还包括扫描探针显微镜、继电器、计时器和电流表(12)；
扫描探针显微镜包括导电悬臂(5)、压电陶瓷扫描器(9)、激光器(7)和探测器(8)；压电陶瓷扫描器(9)接入电源；
导电纸(1)的另一端与导电悬臂(5)的一端连接；导电悬臂(5)悬挂在压电陶瓷扫描器(9)的上方，且与水平方向的夹角为锐角；扫描探针显微镜的探针(6)固定在导电悬臂(5)的另一端；
压电陶瓷扫描器(9)的上端放置有样品(4)，所述扫描探针显微镜的探针(6)位于样品(4)的上方，且与样品(6)之间的距离为d，d通过压电陶瓷扫描器(9)控制在亚微米至微米范围内；
激光器(7)发射的激光入射至扫描探针显微镜的探针(6)背面，所述激光经扫描探针显微镜的探针(6)反射至探测器(8)；
继电器、计时器和电流表(12)均串联在保护电阻(2)和高压电源(3)之间。
2.根据权利要求1所述的基于扫描探针显微镜的材料耐电晕放电老化性能检测装置，其特征在于它还包括计算机(10)和显示器(11)；所述计算机(10)的显示信号输出端与显示器(11)的显示信号输入端连接；所述探测器(8)的电信号输出端与计算机(10)的探测器信号输入端连接；计算机(10)的反馈控制信号输出端与压电陶瓷扫描器(9)的控制信号输入端连接。
3.根据权利要求1所述的基于扫描探针显微镜的材料耐电晕放电老化性能检测装置，其特征在于扫描探针显微镜为多模式电场力显微镜、开尔文力显微镜、压电力显微镜、扫描电容显微镜或磁场力显微镜。
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