[实用新型]一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置有效
| 申请号: | 201520198714.8 | 申请日: | 2015-04-03 |
| 公开(公告)号: | CN204479907U | 公开(公告)日: | 2015-07-15 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 广州市仕元光电有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/72 | 分类号: | G03F1/72 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 510730 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 玻璃 针孔 缺陷 修补 加温 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及热修补技术领域,尤其涉及一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置。
背景技术
玻璃光罩,也称光罩、光掩模版、MASK、光学玻璃,常见的玻璃光罩有铬版、干版等,是指用高品质石英玻璃或苏打玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过激光设备精密定位曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来,经过蚀刻、脱膜后在金属铬上形成电路图形的产品。
但是,玻璃光罩在制造生产环节中会产生各类缺陷,其中针孔类缺陷很常见,通常用油墨或金属胶进行修补,修补材料固化需要加温到一定的温度,才不容易擦掉或脱落。
在针孔类缺陷处理过程中通常把玻璃光罩整版放进烤箱进行加热,这时,常有灰尘和颗粒落在玻璃光罩上,经过烤箱加热后,玻璃光罩上的灰尘和颗粒很难清洗干净,此外,这种烤箱加热方法的加热和散热时间较长,温度很难按工艺要求控制,且消耗大量的电能。
发明内容
为此,本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,以克服因玻璃光罩上落有灰尘和颗粒整版加热之后清洗困难的缺点,同时还便于对加温工艺温度的控制,提高了修补的质量,以及降低了电能大量的消耗。
于是,本实用新型提供了一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,包括:热风枪加温器、用于固定所述热风枪加温器并可升降的气缸装置、以及用于控制所述热风枪加温器的温度控制电路,所述温度控制电路包括温度控制器。
其中,所述气缸装置包括气动电磁阀和气缸,所述气缸装置用于控制所述热风枪加温器升降。
所述热风枪加温器包括电热丝和温度探头,所述电热丝和所述温度探头都与所述温度控制电路连接。
上述温度控制电路还包括一连接于所述温度控制器与市电之间的声光报警器,当所述热风枪加温器温度超过所述温度控制器预设温度时,所述温度控制器通知所述声光报警器报警。
本实用新型所述一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,通过使用热风枪加温器加温、温控电路对加温温度按工艺要求进行控制,使得对玻璃光罩针孔类缺陷修补实现了局部的加温方式,避免了原有生产工艺中所述因局部修补而玻璃光罩整版加温的缺点,克服了因玻璃光罩整版加温和散热时间长以及影响玻璃光罩整版清洗困难的缺点,同时,由于使用了温度控制电路,使得热风枪加温器加温的工艺时间和温度、以及温度报警等加温参数都能调节设置,实现了玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置的智能控制。
附图说明
图1为本实用新型实施例所述一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置框图。
图2为本实用新型实施例所述一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置具体实现电路图。
图3为本实用新型实施例所述一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置气缸装置控制图。
具体实施方式
下面,结合附图对本实用新型进行详细描述。
如图1所示,本实施例提供了一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,包括:热风枪加温器60、用于固定所述热风枪加温器60并可升降的气缸装置70、以及用于控制所述热风枪加温器60的温度控制电路,所述温度控制电路包括温度控制器A80和温度控制器B90。该玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置还包括电源电路30、压缩空气压力开关40、转换控制电路50和声光报警器100。其中,电源电路30与压缩空气压力开关40连接,压缩空气压力开关40与转换控制电路50连接,转换控制电路50分别与温度控制器A80、温度控制器B90、热风枪加温器60和气缸装置70连接,通过转换控制电路50可将热风枪加温器60和气缸装置70切换到温度控制器A80或温度控制器B90连接,声光报警器100分别与温度控制器A80、温度控制器B90连接,达到温度控制器A80或温度控制器B90设置条件时声光报警器100报警。
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