[实用新型]一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置有效
| 申请号: | 201520198714.8 | 申请日: | 2015-04-03 |
| 公开(公告)号: | CN204479907U | 公开(公告)日: | 2015-07-15 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 广州市仕元光电有限公司 |
| 主分类号: | G03F1/72 | 分类号: | G03F1/72 |
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| 地址: | 510730 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 玻璃 针孔 缺陷 修补 加温 装置 | ||
1.一种玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,其特征在于,包括:热风枪加温器、用于固定所述热风枪加温器并可升降的气缸装置、以及用于控制所述热风枪加温器的温度控制电路,所述温度控制电路包括温度控制器。
2.根据权利要求1所述的玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,其特征在于,所述气缸装置包括气动电磁阀和气缸。
3.根据权利要求1所述的玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,其特征在于,所述热风枪加温器包括电热丝和温度探头,所述电热丝和所述温度探头都与所述温度控制电路连接。
4.根据权利要求1所述的玻璃光罩针孔类缺陷修补加温装置,其特征在于,所述温度控制电路还包括一连接于所述温度控制器与市电之间的声光报警器,当所述热风枪加温器温度超过所述温度控制器预设温度时,所述温度控制器通知所述声光报警器报警。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备





