[实用新型]多晶硅还原炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体而言，涉及一种多晶硅还原炉。

背景技术

多晶硅还原炉是多晶硅生产中产出最终产品的核心设备，也是决定系统产能、能耗的关键环节。小型多晶硅还原炉(如12对棒、18对棒还原炉等)生产单位重量产品普遍能耗较高，单炉产量相对低，已经越来越不适应目前的市场要求.随着多晶硅设备水平的不断发展和提高，大型还原炉得到不断开发，出现了36对棒、48对棒甚至60对棒还原炉。

相关技术中的大型多晶硅还原炉，虽然解决了一些产量和能耗的问题，但伴随着设备的大型化和复杂化，如何使进入还原炉的气体保持良好的流动性，保证多晶硅棒生长过程中不产生“菜花头”等质量问题成为一个难题。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的上述技术问题之一。为此，本实用新型提出一种多晶硅还原炉，该多晶硅还原炉具有冷却液流动阻力小、冷却效果好、底盘径向温度分布均匀、底盘不易产生温差应力和变形等优点。

为实现上述目的，根据本实用新型提出一种多晶硅还原炉，所述多晶硅还原炉包括：底盘组件，所述底盘组件包括：底盘本体，所述底盘本体内限定有从所述底盘本体的中心处旋向所述底盘本体的外周缘处的多个螺旋流道，所述底盘本体上设有与多个所述螺旋流道连通的冷却液进口和多个冷却液出口；多个电极座，多个所述电极座设置在所述底盘本体上；多个进气管和多个排气管，多个所述进气管和多个所述排气管设置在所述底盘本体上；炉体，所述炉体连接在所述底盘组件上且与所述底盘组件限定出反应腔；多个电极，多个所述电极分别设置在多个所述电极座上且位于所述反应腔内；进气系统，所述进气系统与多个所述进气管相连；排气系统，所述排气系统与多个所述排气管相连。

根据本实用新型的多晶硅还原炉具有冷却液流动阻力小、冷却效果好、底盘径向温度分布均匀、底盘不易产生温差应力和变形等优点。

另外，根据本实用新型的多晶硅还原炉还可以具有如下附加的技术特征：

所述炉体的顶部为向上凸出的半球形封头。

所述炉体的壁内具有冷却水夹套。

所述炉体的侧壁的下部连接有与所述冷却水夹套连通的进水管且所述半球形封头的顶部连接有与所述冷却水夹套连通的出水管。

所述炉体的上部设有上观察试镜、中部设有中观察试镜且下部设有下观察试镜。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的用于多晶硅还原炉的底盘组件的轴向剖视图。

图2是根据本实用新型实施例的用于多晶硅还原炉的底盘组件的径向剖视图。

图3是根据本实用新型实施例的多晶硅还原炉的结构示意图。

图4是根据本实用新型实施例的多晶硅还原炉的局部结构示意图。

图5是根据本实用新型实施例的多晶硅还原炉的喷嘴的结构示意图。

附图标记：用于多晶硅还原炉的底盘组件10、底盘本体100、螺旋流道110、进气腔111、冷却液进口120、冷却液出口130、底盘法兰140、上底板150、下底板160、中隔板170、冷却腔180、导流板190、弧形段191、电极座200、进气管300、排气管400、冷却液进管500、冷却液出管600；

多晶硅还原炉1、炉体20、半球形封头21、进水管22、出水管23、电极30、上观察试镜41、中观察试镜42、下观察试镜43、喷嘴50、基座51、导向杆52、止挡台53、支腿54、引流转子55、侧旋流道56、止挡螺母57、进气环管61、进气口62、进气支管63、进气挡板64、排气环管71、排气口72、排气支管73、进液管74、出液管75、膨胀节76。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考附图描述根据本实用新型实施例的用于多晶硅还原炉的底盘组件10。

如图1和图2所示，根据本实用新型实施例的用于多晶硅还原炉的底盘组件10包括底盘本体100、多个电极座200、多个进气管300和多个排气管400。