[实用新型]一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台

说明书

技术领域

    本实用新型涉及太阳能生产设备领域，具体涉及一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台。

背景技术

磁控溅射镀膜设备是把磁控原理与普通溅射技术相结合利用磁场的特殊分布控制电场中的电子运动轨迹，将离子引向欲被溅射的物质制成的靶电极（阴极），并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并最终在衬底上沉积成膜，使得镀膜厚度及均匀性可控，且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高。磁控溅射镀膜设备已成为制备太阳能薄膜电池的重要设备，在太阳能薄膜电池生产过程中，芯片经由传动轮进入设备内部，完成镀膜后通过传送机构继续流入下工序，例如：申请号201120348080.1所述的一种硅片传送机构，包括连接传送带、至少三个支撑件、至少三个皮带轮，其中，所述连接传送带由所述皮带轮托起，在所述皮带轮的带动下传送硅片，所述支撑件与所述皮带轮相连，所述支撑件用于支撑所述连接传送带的平衡，其缺点在于该传送机构在输送芯片时容易倾斜发生便宜碰撞，使芯片发生形变或破损。

实用新型内容

本实用新型目的之一是为了克服技术的不足，提供了一种能够在传送过程中保护芯片并校正芯片传动方向的用于磁控溅射镀膜设备的传送机台。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，所述传送机台设置在磁控溅射镀膜设备的出料口，包括传送装置，所述传送装置包括机架和设置在机架上的传动部件，所述传送装置的两侧设有导向装置，所述导向装置位于传送装置的上方，所述导向装置包括导向部件和用于安装导向部件的导向架，所述导向架连接有缓冲装置，所述缓冲装置包括固定在机架上的支架、通过支架支撑在传送装置上方的缓冲架以及设置在缓冲架和导向架之间的缓冲部件。

本实用新型通过在传动装置的两侧设置导向装置，运送芯片时芯片在导向装置的导向作用下顺利地运送到下一工序，防止芯片走偏，同时导向装置连接有缓冲装置，当芯片走偏与导向装置碰撞时，产生的冲击力由缓冲装置进行吸收，起到缓冲作用，保护芯片不被损坏，同时缓冲装置将冲击力转换为弹性势能，反弹给芯片，修正芯片的移动方向。

作为优选，所述导向部件包括导轮、转轴和顶紧块，所述导轮转动连接在转轴上，所述顶紧块与转轴螺纹配合连接，所述转轴的端部设有卡接块，导向架上设有卡槽，所述卡接块卡接在卡槽内，卡槽上设有阻挡卡接块移出卡槽的挡边，所述转轴通过旋转顶紧块使顶紧块和卡接块压住挡边固定在导向架上。

此结构可以方便将导向部件的安装、拆卸以及调整导向部件之间的间距，只需将卡接块卡接在卡槽内约束转轴转动，通过旋紧顶紧块使卡接块和顶紧块夹紧卡槽的挡边，从而固定导向部件在导向架上的位置。

作为优选，所述导向架上设有导杆，所述缓冲架上设有与所述导杆配合的导孔。

作为优选，所述缓冲部件为弹簧或弹性片，能够吸收芯片的冲击力防止芯片破碎，并将冲击力转换为弹性势能，通过反作用力来修正芯片的移动方向。

作为优选，所述传动部件包括传动轴和套设在传动轴上的传动轮，所述传动轮间隔设置在传动轴上。

作为优选，所述传动轮设有将传动轮套接在传动轴上的套接部，所述套接部上设有定位件。

作为优选，所述传动轮轮面设有缓冲圈，减轻运送过程中芯片振动，降低噪音。

作为优选，所述传动轮上设有轮槽，所述缓冲圈卡接在轮槽内。

作为优选，所述传送机台上还设有距离控制装置，所述距离控制装置用于控制位于传送装置两侧的导向架之间的间距，根据不同芯片宽度随时调整导向架的间距，使导向架与芯片保持一个适宜的间距，在保证芯片顺利运送的情况下减少偏移量，减小冲击力。

本实用新型具有如下有益效果：本实用新型能够顺利地将芯片运送到下一工序，防止芯片走偏，当芯片走偏与导向装置碰撞时，产生的冲击力由缓冲装置进行吸收，起到缓冲作用，保护芯片不被损坏，同时缓冲装置将冲击力转换为弹性势能反弹给芯片，修正芯片的移动方向。

附图说明

图1为本实用新型实施例的结构示意图；

图2为本实用新型实施例的侧视图；

图3为图1中A处的局部放大图；

图4为图2中B处的局部放大图；

图5为本实用新型实施例中导向装置的结构示意图；

图6为本实用新型实施例中传动轮的结构示意图；