[实用新型]一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台

权利要求书

1.一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，所述传送机台设置在磁控溅射镀膜设备的出料口，包括传送装置，所述传送装置包括机架（1）和设置在机架（1）上的传动部件（2），其特征在于：所述传送装置的两侧设有导向装置，所述导向装置位于传送装置的上方，所述导向装置包括导向部件（4）和用于安装导向部件（4）的导向架（3），所述导向架（3）连接有缓冲装置，所述缓冲装置包括固定在机架（1）上的支架（5）、通过支架（5）支撑在传送装置上方的缓冲架（6）以及设置在缓冲架（6）和导向架（3）之间的缓冲部件（7）。

2.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，其特征在于：所述导向部件（4）包括导轮（41）、转轴（42）和顶紧块（43），所述导轮（4）转动连接在转轴（42）上，所述顶紧块（43）与转轴（42）螺纹配合连接，所述转轴（42）的端部设有卡接块（44），导向架（3）上设有卡槽（31），所述卡接块（44）卡接在卡槽（31）内，卡槽（31）上设有阻挡卡接块（44）移出卡槽的挡边（32），所述转轴（42）通过旋转顶紧块（43）使顶紧块（43）和卡接块（44）压住挡边（33）固定在导向架（3）上。

3.根据权利要求2所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，其特征在于：所述导向架（3）上设有导杆（33），缓冲架（6）上设有与所述导杆（33）配合的导孔。

4.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，其特征在于：所述缓冲部件（7）为弹簧或弹性片。

5.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，其特征在于：所述传动部件（2）包括传动轴（21）和套设在传动轴（21）上的传动轮（22），所述传动轮（22）间隔设置在传动轴（21）上。

6.根据权利要求5所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，其特征在于：所述传动轮（22）设有将传动轮（22）套接在传动轴（21）上的套接部（221），所述套接部（221）上设有定位件（222）。

7.根据权利要求6所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，其特征在于：所述传动轮（22）轮面设有缓冲圈（223）。

8.根据权利要求7所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，其特征在于：所述传动轮（22）上设有轮槽（224），所述缓冲圈（223）卡接在轮槽（224）内。

9.根据权利要求1所述的一种用于磁控溅射镀膜设备的传送机台，其特征在于：所述传送机台上还设有距离控制装置（8），所述距离控制装置（8）用于控制位于传送装置两侧的导向架（3）之间的间距。