[实用新型]一种便于探针分析的集成电路版图结构有效

专利信息
申请号: 201520161508.X 申请日: 2015-03-20
公开(公告)号: CN204516765U 公开(公告)日: 2015-07-29
发明(设计)人: 王春来;孙申权 申请(专利权)人: 深圳市麦积电子科技有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02;H01L23/525
代理公司: 深圳市君盈知识产权事务所(普通合伙) 44315 代理人: 陈琳
地址: 518042 广东省深圳市坪山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 便于 探针 分析 集成电路 版图 结构
【权利要求书】:

1.一种便于探针分析的集成电路版图结构,包括用于传递芯片电信号的主信号线,其特征在于,还包括:与所述主信号线电连接作为探针分析的金属层。

2.根据权利要求1所述的一种便于探针分析的集成电路版图结构,其特征在于:还包括钝化层,所述钝化层部分覆盖设置在所述金属层上。

3.根据权利要求2所述的一种便于探针分析的集成电路版图结构,其特征在于:所述钝化层覆盖设置在金属层平面上的四周,所述金属层平面的中心区域未被所述钝化层覆盖。

4.根据权利要求3所述的一种便于探针分析的集成电路版图结构,其特征在于:所述金属层平面的中心区域为矩形、正方形、多边形、圆形或椭圆形。

5.根据权利要求1至4任一所述的一种便于探针分析的集成电路版图结构,其特征在于:所述金属层为矩形、正方形、多边形、圆形或椭圆形。

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