[实用新型]一种复合式单晶硅用坩埚有效
| 申请号： | 201520130455.5 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN204690166U | 公开（公告）日： | 2015-10-07 |
| 发明（设计）人： | 吴鸿 | 申请（专利权）人： | 上海珩锢新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201111 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 单晶硅 坩埚 | ||
【权利要求书】：
1.一种复合式单晶硅用坩埚，其特征在于：该坩埚为由埚帮、埚底组成的复合式结构，所述埚帮为中空筒状结构，其底部设有两对相互对称的螺栓过孔；所述埚底为采用两个半圆底拼接而成的圆形平底结构，每个半圆底的两端对称开设一螺栓过孔，且其位置与埚帮上的螺栓过孔相适配；所述埚帮与埚底通过螺栓过孔采用螺栓连接。
2.根据权利要求1所述的一种复合式单晶硅用坩埚，其特征在于：所述埚帮的直径略大于埚底，埚帮套接于埚底的外侧并采用螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的一种复合式单晶硅用坩埚，其特征在于：所述埚帮和埚底的外侧均设有碳化硅涂层。
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