[实用新型]一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构

说明书

技术领域

本实用新型涉及泡生法蓝宝石晶体生长技术领域，尤其涉及一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构，同时可适用于其他相似领域。

背景技术

蓝宝石又称白宝石，是世界上硬度仅次于金刚石的晶体材料，由于具有高声速、耐高温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045℃）等优良的物理、机械、化学及红外透光性能，一直是微电子、航空航天、军工等领域急需的材料，凭借其极高的强度、硬度、红外透过性能和抗热冲击性能。该材料在光学窗口、半导体照明、微波器件等领域都有广泛的应用，已成为用量仅次于硅单晶的一种功能晶体材料。尤其是光学级大尺寸蓝宝石材料，由于其具有性能稳定、市场需求量大、综合利用率及产品附加值高等特点，成为近年国内外研究开发和产业化热点。蓝宝石晶体的生长方法很多，但只有泡生法才能获得缺陷和应力少的大尺寸高光学质量的蓝宝石晶体，目前70%的蓝宝石材料是由泡生法制造的。

目前的泡生法蓝宝石生长设备都是双电极结构，生长圆柱形的蓝宝石材料，这种结构对于手机面板等方形用途会产生大量的浪费。如果将电极改为四电极结构就能实现方形的热场，进而生长出方形的蓝宝石材料。目前的蓝宝石设备炉盖都是双电极结构，没有支持四电极结构的炉盖。

发明内容

（一）要解决的技术问题

    本专利设计了一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构，该炉盖按90度均匀分布两组四个电极，在炉盖上的炉盖孔中设置长电极支架和短电极支架连接四个电极，引入外部电源和冷却水，这样两组电极可以容易地实现方形热场，对于生长方形蓝宝石材料更为有利。

（二）技术方案

为达到上述目的，本发明提供了一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构，包括炉盖板，所述的炉盖板内部设置水冷槽，所述的水冷槽在所述的炉盖板上设置进水口和出水口，所述的炉盖板下面设置四个电极，所述的电极上设置两个电极孔，所述的炉盖板上设置八个炉盖孔，设置四个长电极支架和四个短电极支架，所述的长电极支架和短电极支架安装在所述的炉盖孔内，所述的长电极支架和短电极支架上设置水口，所述的长电极支架和短电极支架通过螺纹与所述的电极孔连接。

所述的长电极支架的水口连接冷却入水管, 与所述的短电极支架的水口连接冷却出水管。

所述的长电极支架通过电源夹与外部电源连接。

所述的四个短电极支架设置为90度均匀分布在所述的炉盖板上， 所述的四个长电极支架设置为90度均匀分布在所述的炉盖板上。

（三）有益效果

从上述技术方案可以看出，本发明具有以下有益效果：

1、本专利提供的支持四电极的炉盖结构，采用八电极孔结构，因此能形成两组电极，提供两套发热结构，从而为实现方形热场提供了基础。

2、本专利提供的支持四电极的炉盖结构，两组电极独立供电，为长晶过程中的加热控制提供灵活性。

附图说明

图1为炉盖结构的侧视图；

图2为炉盖结构的俯视图；

图3为炉盖结构的仰视图。

具体实施方式

下面结合具体的实施例对本实用新型作进一步展开说明，但需要指出的是，本实用新型所要求保护的结构并不限于实施例及说明书附图中的具体结构。对于本领域普通技术人员可以推知的其他结构形式，亦属于本发明所要求保护的范围之内。

请一并参阅图1-3，一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构，包括进行密封作用的炉盖板1，为了防止高温环境对所述的炉盖板1的损害，所述的炉盖板1内部设置水冷槽，所述的水冷槽在所述的炉盖板1上设置进水口2和出水口3。

所述的炉盖板1下面设置四个电极4，所述的电极4用于将外部电源引入，对于所述的电极4连接的加热体提供电源，所述的加热体产生热量，形成高温环境。每个电极4上设置两个电极孔5，对应在所述的炉盖板1上也设置八个炉盖孔6，同时设置四个长电极支架7和四个短电极支架8，所述的长电极支架7和短电极支架8安装在所述的炉盖孔6内，所述的长电极支架7和短电极支架8通过螺纹与所述的电极孔5连接。

为了对所述的电极4进行冷却，所述的长电极支架7和短电极支架8上设置水口，所述的长电极支架7的水口连接冷却入水管, 与所述的短电极支架8的水口连接冷却出水管。

所述的电极4分为两组，同一组中，与所述的电极4连接的长电极支架7通过电源夹与外部电源连接的正负极连接。

所述的四个短电极支架8设置为90度均匀分布在所述的炉盖板1上， 所述的四个长电极支架7设置为90度均匀分布在所述的炉盖板1上。

综上所述，本专利设计了一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构，该炉盖按90度均匀分布两组四个电极，在炉盖上的炉盖孔中设置长电极支架和短电极支架连接四个电极，引入外部电源和冷却水，这样两组电极可以容易地实现方形热场，对于生长方形蓝宝石材料更为有利；并且两组电极独立供电，为长晶过程中的加热控制提供灵活性。