[实用新型]一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构有效
申请号: | 201520114430.6 | 申请日: | 2015-02-21 |
公开(公告)号: | CN204491028U | 公开(公告)日: | 2015-07-22 |
发明(设计)人: | 刘瑜;邢明;陈晓玲 | 申请(专利权)人: | 杭州晶一智能科技有限公司 |
主分类号: | C30B17/00 | 分类号: | C30B17/00;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310013 浙江省杭州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 支持 电极 蓝宝石 生长 设备 结构 | ||
1.一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构,包括炉盖板,所述的炉盖板内部设置水冷槽,所述的水冷槽在所述的炉盖板上设置进水口和出水口,所述的炉盖板下面设置四个电极,所述的电极上设置两个电极孔,其特征在于:所述的炉盖板上设置八个炉盖孔,设置四个长电极支架和四个短电极支架,所述的长电极支架和短电极支架安装在所述的炉盖孔内,所述的长电极支架和短电极支架上设置水口,所述的长电极支架和短电极支架通过螺纹与所述的电极孔连接。
2.如权利要求1所述的一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构,其特征在于:所述的长电极支架的水口连接冷却入水管, 与所述的短电极支架的水口连接冷却出水管。
3.如权利要求1所述的一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构,其特征在于:所述的长电极支架通过电源夹与外部电源连接。
4.如权利要求1所述的一种支持四电极的蓝宝石生长设备的炉盖结构,其特征在于:所述的四个短电极支架设置为90度均匀分布在所述的炉盖板上, 所述的四个长电极支架设置为90度均匀分布在所述的炉盖板上。
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