[实用新型]线监测系统和线锯装置

说明书

技术领域

本文描述的实施例涉及一种用于线锯装置的线监测系统和一种线锯装置。本实施例的线锯装置特别适用于切割或锯切硬质材料(如硅块或石英块)，例如用于切割硅晶片、硅锭或类似物。

背景技术

线锯装置用于切割工件或硬质材料(例如，硅)锭块。使用线锯装置切割或晶片化工件或锭块以便裁剪、切成方形或切片。在这种线锯装置中，从线轴送线，并通过线导向器引导和拉紧。在线锯装置中可使用不同类型的线。例如，金刚石线可与冷却剂结合使用。在切割期间，沿线长度迅速移动线，并在大体上垂直于线方向的切割方向上通过工件供应板或工作台比较缓慢地移动工件或锭块。线可卷绕在线导向器(如滚筒)周围以形成线网。可对这些线导向器开槽，其中通过线张力使线保持在所谓的线导向槽内部。凹槽可以是等距的，以便切片工件或锭块获得具有规则和相等厚度的晶片。

使用线锯装置的一个问题是发生跳线和所谓的“薄厚效应”，其中与标称厚度值相比，一些晶片较薄，而另一些晶片较厚。可通过线网的目视检查或通过用手指触摸网和感测网的均匀性来检测跳线。使用较小直径线的趋势使得这种手动检测方法很难。

鉴于上述情况，需要监测线网以便实现线锯装置的更高效率。尤其是需要监测线网以便检测薄厚效应和/或跳线的发生。

实用新型内容

鉴于上文所述，本实用新型提供一种用于线锯装置的线监测系统和一种线锯装置。本实用新型实施例的进一步方面、优点和特征将自从属权利要求、描述和附图显而易见。

根据一个方面，提供一种用于线锯装置的线监测系统。线监测系统包括传感器排列，配置所述传感器排列检测半导体线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离。

根据另一方面，提供一种用于线锯装置的线监测系统。线监测系统包括传感器排列，配置所述传感器排列检测线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离，传感器排列包含至少一个照明装置和至少一个直线传感器阵列，其中在与至少一个直线传感器阵列间隔第一距离处定位至少一个照明装置以界定至少一个照明装置与直线传感器阵列之间的线接收区域，且其中线接收区域被配置用于引导线网通过线接收区域。

根据又一方面，提供一种线锯装置。线锯装置包括本文描述的线监测系统。线监测系统包括传感器排列，配置所述传感器排列检测线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离。

实施例还针对用于实施所公开方法的设备和包括用于执行每个所描述方法步骤的设备部件。可通过硬件组件、由适当软件编程的计算机、通过上述两者的任意组合或以任何其他方式执行这些方法步骤。

附图说明

因此，为可详细理解本公开文本的实施例的上述特征结构，可参考本文描述的实施例获得上文简要概述的实施例的更具体描述。附图涉及本公开文本的实施例，并描述如下：

图1图示根据本文描述的实施例的位于线导向筒上的线网和线监测系统的示意性前视图；

图2图示根据本文描述的实施例的位于线导向筒上具有跳线的线网和线监测系统的示意性前视图；

图3图示根据本文描述的实施例的具有线监测系统的线锯装置的示意性横截面侧视图；

图4图示根据本文描述的实施例的线监测系统的示意性横截面视图；

图5(a)-(c)图示根据本文描述的实施例的说明线监测系统运作的曲线图；

图6图示根据本文描述的进一步实施例的具有线监测系统的线锯装置的示意性横截面侧视图；

图7图示根据本文描述的实施例的线监测系统的传感器装置的传感器排列的示意性视图；和

图8图示用于监测线锯装置中的线的方法的流程图，以便更好地理解本文描述的线监测系统和线锯。

具体实施方式

现将详细参考本公开文本的各个实施例，在图中图示这些实施例的一或更多个例子。在附图的以下描述中，相同附图标号指代相同组件。大体只仅描述相对于个别实施例的不同之处。通过解释本公开文本实施例的方式提供每一例子，并且这些例子并不意味着是实施例的限制。此外，可结合其他实施例使用图示为或描述为一个实施例的一部分的特征以产生又一个实施例。目的是这一描述包括这种修改和变化。