[实用新型]线监测系统和线锯装置有效
| 申请号： | 201520113413.0 | 申请日： | 2015-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN204955158U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | C·佐米尼;F·瓦尔库尔特 | 申请（专利权）人： | 应用材料瑞士有限责任公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;G05B19/406 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陆勍 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 监测 系统 装置 | ||
1.一种用于线锯装置的线监测系统，其特征在于，包含：
传感器排列，配置所述传感器排列检测所述线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离，
其中，所述传感器排列包括至少一个照明装置和至少一个传感器装置，
其中，所述至少一个照明装置在与所述至少一个传感器装置间隔第一距离处定位。
2.如权利要求1所述的线监测系统，其特征在于，所述至少一个传感器装置包括至少一个直线传感器阵列。
3.如权利要求1或2所述的线监测系统，其特征在于，所述至少一个传感器装置包括一或更多个光电传感器。
4.如权利要求1至2中的任一项所述的线监测系统，其特征在于，所述至少一个照明装置包括在一行中排列的两个或更多个光源。
5.如权利要求1至2中的任一项所述的线监测系统，其特征在于，在与所述至少一个传感器装置间隔第一距离处定位所述至少一个照明装置以界定所述至少一个照明装置与所述至少一个传感器装置之间的线接收区域。
6.如权利要求5所述的线监测系统，其特征在于，所述第一距离至少为2mm。
7.如权利要求5所述的线监测系统，其特征在于，所述第一距离在2至20mm的范围内。
8.如权利要求6所述的线监测系统，其特征在于，所述第一距离在5至10mm的范围内。
9.一种用于线锯装置的线监测系统，其特征在于，包含：
传感器排列，配置所述传感器排列检测所述线锯装置的线网的至少两个线部分之间的相对距离，所述传感器排列包含至少一个照明装置和至少一个直线传感器阵列，
其中在与所述直线传感器阵列间隔第一距离处定位所述至少一个照明装置以界定所述至少一个照明装置与所述至少一个直线传感器阵列之间的线接收区域，且其中所述线接收区域被配置用于引导所述线网通过所述线接收区域。
10.一种线锯装置，其特征在于，所述装置包含根据权利要求1至3中任一项所述的线监测系统。
11.如权利要求10所述的线锯装置，其特征在于，所述线锯装置是半导体线锯装置或蓝宝石线锯装置。
12.如权利要求10至11中的任一项所述的线锯装置，其特征在于，进一步包括碎屑收集装置，其中所述传感器排列包括所述至少一个照明装置和所述至少一个传感器装置，且其中在所述碎屑收集装置上安装所述至少一个照明装置或所述至少一个传感器装置。
13.如权利要求12所述的线锯装置，其特征在于，在所述碎屑收集装置的凸缘上安装所述至少一个照明装置或所述至少一个传感器装置。
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