[实用新型]掩模板定位装置有效
| 申请号： | 201520111363.2 | 申请日： | 2015-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN204406033U | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 黄金 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模板 定位 装置 | ||
1.一种掩模板定位装置，其特征在于，包括在一腔体中设置的掩模定位板，一掩模板置于所述掩模定位板上，在所述腔体外设置有检测掩模板位置的探测器，所述探测器还连接至一腔体控制器。
2.如权利要求1所述的掩模板定位装置，其特征在于，所述掩模板为矩形，具有外围区，所述外围区中设置有至少三个透光区。
3.如权利要求2所述的掩模板定位装置，其特征在于，所述透光区为方形，边长为4mm-6mm。
4.如权利要求3所述的掩模板定位装置，其特征在于，所述探测器的数量至少为3个。
5.如权利要求4所述的掩模板定位装置，其特征在于，至少三个透光区分别对应一个探测器，且所述探测器位于所对应的透光区的正上方。
6.如权利要求5所述的掩模板定位装置，其特征在于，所述至少3个探测器发出的光斑分别投射在所对应的透光区，所述光斑距离透光区四边的最小距离皆为2mm。
7.如权利要求5所述的掩模板定位装置，其特征在于，所述至少3个探测器发出的光斑分别投射在所对应的透光区，所述光斑距离透光区四边的最小距离皆为1mm。
8.如权利要求1所述的掩模板定位装置，其特征在于，所述掩模板定位装置还包括显示屏，所述显示屏与所属探测器相连接。
9.如权利要求1所述的掩模板定位装置，其特征在于，所述腔体包括透明玻璃窗口，所述探测器设置于所属透明玻璃窗口上。
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