[实用新型]一种晶体吸盘装置

权利要求书

1.一种晶体吸盘装置，其特征在于：包括吸盘体（1）、吸孔（2）、导气槽（3）及环形吸槽（4），其中，上述吸盘体（1）为圆柱体结构，吸孔（2）设置在吸盘体（1）上，并贯穿吸盘体（1）；上述环形槽（4）包括至少二个，各环形槽（4）间隔设置在吸盘体（1）的顶面，并向下凹陷，形成晶体吸附面，以便吸附晶体；上述导气槽（3）设置在吸盘体（1）的顶面，导气槽（3）连接吸孔（2）及环形吸槽（4），吸孔（2）连接外设的真空发生器及气泵，以便将吸附面上的空气走，形成负压。

2.根据权利要求1所述的一种晶体吸盘装置，其特征在于：所述的吸孔（2）设置在吸盘体（1）的中央位置，与吸盘体（1）同轴心。

3.根据权利要求2所述的一种晶体吸盘装置，其特征在于：所述的导气槽（3）由相互垂直的两个长条状槽体交叉形成为十字形槽体，导气槽（3）的交叉点与吸孔（2）重叠，使吸孔（2）与导气槽（3）连通。

4.根据权利要求3所述的一种晶体吸盘装置，其特征在于：所述的环形吸槽（4）包括至少二个，各环形吸槽（4）沿吸盘体（1）的径向方向，由内而外依此间隔设置，且同圆心。

5.根据权利要求4所述的一种晶体吸盘装置，其特征在于：所述的导气槽（3）的两个长条状槽体向两侧延伸至外侧的环形槽体（4）内，以便使各环形槽体（4）与吸孔（2）连通。

6.根据权利要求1-5中任一项所述的一种晶体吸盘装置，其特征在于：所述的吸孔（2）的两端分别延伸至吸盘体（1）的顶面及底面，吸孔（2）的底端设有接气管（5），接气管（5）的上端与吸孔（2）连接，下端连接有气管，气管连接在外设的真空发生器及气泵。