[实用新型]一种新型PECVD车间卸片工字形吸盘头

权利要求书

1.一种新型PECVD车间卸片工字形吸盘头，包括块状的吸盘头，在所述吸盘头内设有外接抽真空设备的抽真空管路，所述吸盘头具有用于贴附在硅片上的吸附面，在所述吸附面上设有吸附槽，所述吸附槽的槽底开设有抽气孔，所述抽真空管路与抽气孔相通，其特征在于：所述吸附槽为工字形，所述吸附槽的边缘靠近所述吸盘头的吸附面的边沿。

2.根据权利要求1所述的新型PECVD车间卸片工字形吸盘头，其特征在于：所述吸附槽由两个竖向槽和位于二者之间的横向槽连通而成，抽气孔处于靠近吸盘头后端面的竖向槽中。

3.根据权利要求2所述的新型PECVD车间卸片工字形吸盘头，其特征在于：所述竖向槽的两端轮廓为圆弧形。

4.根据权利要求1～3任一项所述的新型PECVD车间卸片工字形吸盘头，其特征在于：在所述吸盘头内开设孔道，孔道的一端贯穿吸盘头的后端面，孔道的另一端与所述抽气孔相通，用于与抽真空设备相连的抽真空钢管插入孔道中并伸至孔道与抽气孔的连通部位构成所述抽真空管路，在吸盘头的侧面穿入固定件以抵紧抽真空钢管将其固定。