[实用新型]一种具有等离子处理功能的手套箱

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种手套箱，具体涉及一种具有等离子处理功能的手套箱。

背景技术

手套箱广泛应用于锂电、核能、医学以及化学化工等各种行业。现有OLED、或OPV等有机及光伏研究，及一些半导体研究与生产中，很多工艺工程需要在无水、无氧、无尘等环境中进行，也就是在手套箱中或真空设备中进行，这研究中用的很多基材，如ITO玻璃、硅片等，需要多遍清洗或表面处理，包括湿法清洗、干法清洗等，干法清洗主要有等离子清洗和紫外臭氧清洗。而目前没有适合手套箱应用的等离子处理设备，现有的等离子处理设备要么体积大无法放入手套箱，只能在外边使用，无法避免清洗完传递到手套箱过程的二次污染及氧化等；即使有一些小巧的设备能放入手套箱箱体中，在控制等方面也不适合手套箱箱体内部操作，或者无法操作，并且占用了手套箱箱体内部宝贵的利用空间。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种可以避免样品二次污染或氧化、且操作方便又节省手套箱箱体空间的具有等离子处理功能的手套箱。

为了达到上述目的，本实用新型的技术方案如下：

一种具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体，该手套箱箱体上固定设置有腔室，该腔室具有连通外部的至少一外门、以及连通手套箱箱体内部的至少一内门，该腔室的内壁上固定设置至少一等离子源，该腔室上还设置有连通该腔室内部的至少一开口或管路，该开口或管路连接工作气气源，用于向腔室内输入清洗所需的工作气，该腔室还连接真空泵。

本实用新型的手套箱主要对原先的手套箱箱体作出了改进，在手套箱箱体上加入了独立的腔室，该腔室内安装了等离子源，同时连接了工作气气源和真空泵，通过外门将样品放入腔室后，真空泵可以形成腔室的真空环境，此时开启等离子源和工作气气源，便可以完成对样品的清洗，此后再通过腔室的内门将样品放入到手套箱箱体内，完成其他操作。

因此，本实用新型与现有技术相比，其在手套箱箱体上形成了一个独立的空间，使得清洗过程可以独立于手套箱箱体之外却又可以与手套箱箱体有机结合，在腔室内清洗时无需手进入进行操作，在节省手套箱箱体空间的同时还提高了清洗操作的便利性，同时在密闭的腔室内完成清洗后直接进入到手套箱箱体内，避免了与外界的接触，也可以有效地避免样品的二次污染或氧化问题。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以作如下改进：

作为优选的方案，上述的腔室固定设置于手套箱箱体的底部。

采用上述优选的方案，可以便于从手套箱箱体的底部放入样品，也可以便于从手套箱箱体内从腔室内取出样品，同时利用了底部的底座内的空间，也可以最大程度地降低整个手套箱的体积。

作为优选的方案，上述的腔室与手套箱箱体之间通过对接法兰进行连接。

采用上述优选的方案，在便于腔室与手套箱箱体之间的装卸的同时，还可以保证腔室与手套箱箱体之间的无泄漏密封连接，保证腔室内的真空环境。

作为优选的方案，上述的开口或管路设置连接腔室的侧壁。

采用上述优选的方案，可以便于工作气向腔室内的输入。

作为优选的方案，上述的腔室的底部还固定连接有第二腔室。

采用上述优选的方案，可以提供线路、管路及电源匹配器等的排放空间，方便布局，并且外观看上去美观整洁、一体；另外还可以在腔室和外部之间形成一道阻挡屏障，即使腔室出现泄漏，漏气也只会进入到该第二腔室内，从而可以进一步地保持腔室保持持久的真空环境。

附图说明

图1为本实用新型的一种具有等离子处理功能的手套箱的结构示意图。

其中，1.手套箱箱体 11.控制器 12.过渡仓 13.托盘 14.真空泵 2.腔室 21.外门 22.内门 23.开关 3.等离子源 4.管路 41.工作气气源 5.真空泵 51.管路 6.对接法兰 7.第二腔室。

具体实施方式

下面结合附图详细说明本实用新型的优选实施方式。