[实用新型]一种具有等离子处理功能的手套箱有效
| 申请号： | 201520025293.9 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN204382306U | 公开（公告）日： | 2015-06-10 |
| 发明（设计）人： | 李春风 | 申请（专利权）人： | 威格气体纯化科技（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J21/02 | 分类号： | B25J21/02 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 何蔚 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 具有 等离子 处理 功能 手套 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有等离子处理功能的手套箱，包括手套箱箱体，其特征在于，所述手套箱箱体上固定设置有腔室，所述腔室具有连通外部的至少一外门、以及连通所述手套箱箱体内部的至少一内门，所述腔室的内壁上固定设置至少一等离子源，所述腔室上还设置有连通所述腔室内部的至少一开口或管路，所述开口或管路连接工作气气源，用于向所述腔室内输入清洗所需的工作气，所述腔室还连接真空泵。
2.根据权利要求1所述的一种具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述腔室固定设置于所述手套箱箱体的底部。
3.根据权利要求1或2所述的一种具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述腔室与所述手套箱箱体之间通过对接法兰进行连接。
4.根据权利要求1或2所述的一种具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述开口或管路设置连接所述腔室的侧壁。
5.根据权利要求1或2所述的一种具有等离子处理功能的手套箱，其特征在于，所述腔室的底部还固定连接有第二腔室。
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